Det Orion III Plasmaet det Förhöjda som Kemiska DunstAvlagring (PECVD)systemet från Trion Teknologier producerar produktion-kvalitets-, filmar på en kompakt plattform. Den unika reaktordesignen producerar låg spänning filmar med utmärkt kliver täckning på extremt - driva low jämnar.
Systemet möter all säkerhet, lätthet, och processaa krav inom laboratoriumet och pilot- fodrar produktionmiljöer. Orionen III har många standarda särdrag inte typisk att grunda på ett system som prissättas så rimligen, som är därför många användare har gjort det deras PECVD-system över hela världen av primat.
Applikationer av det Orion III PECVD Systemet
- MEMS
- halvledar- Belysning
- FelAnalys
- Forskning & Utveckling
- Pilot- Fodra
Särdrag av det Orion III PECVD Systemet
- Reaktor
Katoden och anoden varje bearbetas med maskin ut ur singelkvarter av aluminium. Efter kritiskt kontroll, anodiseras de hårt för skydd från processaa kemiar. Den nedersta elektroden är tillgänglig i endera 200mm, eller 300mm storleksanpassar och kan bearbeta singelrån, dör eller särar (2" - 300mm). Processaa gasar introduceras in i kammaren som endera vid ett ringformigt ringer eller en mångfaldig dusch. - Fäll Ned Elektroden
Systemet kommer med en 300 watt, den 300kHz botten-drev elektroden - Handlag Avskärmer Operatören Har Kontakt
En skärm för färgalägenhetpanel med handlag avskärmer har kontakt ger operatören med mycket processaa tider för information alls. Programvaran har kontakt vägleder operatören till och med varje ordnar i ett logiskt danar och ger fingerspetsen kontrollerar allra processaa parametrar. - Processaa Kontrollant för PC
Den processaa kontrollanten för PC:N ger enkelt, och det pålitliga systemet kontrollerar. Den grafiska programvaran paketerar skapar program i kvarterdiagram bildar. Processaa recept lagras på det hårda drevet eller kan lagras på pråliga drev för USB låta varje operatör underhålla individrecept. - Enhet för AC-Fördelning
Enheten för AC-fördelning fördelar automatiskt fördefinerat driver antal till de olika inre delarna. När det Nöd- Driver knäppas Av snubblas, driver RFEN stängs av och, alla ventiler som är involverade med, gasar leverans stänger sig automatiskt, och bearbeta med maskinöverheten besegrar till ett kassaskåpreservfunktionsläge. Detta system inkluderar separat driver kontrollerar för den huvudsakliga ACEN och kringutrustningarna. - Automatiskt Pressa Kontrollerar
Varje Trion system inkluderar en fjäril pressar kontrollerar ventilen fungerings direkt av den processaa kontrollanten. Detta ger vilde pressar kontrollerar avskiljer från alla andra bearbeta parametrar. - Gasa LeveransSystemet
Statlig-av--Konst teknologi används för att se till den utmost fullständigheten och renheten. Varje reaktionskammare hyser åtta samlas upp till flödeskontrollanter, och all rörmokeri använder ytbehandlar monteringen, C-Förseglar teknologi eller orbitalen svetsade VCR-monteringar. - Säkerhet
Systemet möter krav för säkerhet SEMI_S2-93. Systemet är CE som är eftergiven med MaskineriDirektiv 98/37/EC, Direktiv 73/23/EEC för Låg Spänning och Direktiv 89/336/EEC för Elektromagnetisk Förenlighet för CE som Markerar krav. En tredje part som säkerhet granskar, är tillgänglig på förfrågan.