工藝工程師希望薄膜厚度測量速度快,並沒有很多的麻煩。我們創新的厚度成像™技術允許 Filmetrics提供易於配方設立和業界領先的吞吐量,在競爭的計量工具的成本的一小部分,。
不同於傳統的計量工具,在單點測量的厚度,與 F80快速生成收集數以千計的厚度讀數,在測量位置附近的厚度形象。
從低成本,手動加載的桌面系統完全自動化的獨立盒式磁帶工具的配置。
如果你是在厚度計量的下一代搜索,再看看沒有進一步 Filmetrics F80。與 F80的工具CMP,CVD,PVD和晶圓軌道工藝工程師一直在等待。
厚度成像™是Filmetrics公司的商標。
Filmetrics厚度成像™技術獲得研發 100大獎。