MDPのインゴット - フライベルクインスツルメンツからインゴットまたはウェハーマッピングシステム
MDPingotツールシリーズはmulticristallineシリコンレンガとウェーハの迅速、柔軟なマッピングのための堅牢なデザインとなっています。少数キャリア寿命の同時測定、光導電性、抵抗率とサンプルの平坦性、同時にすべてのマップ。このツールのセットアップは非常に簡単なだけの電力が必要です。データベースとワークステーションを含むすべての測定の必需品が含まれています。サンプルのロードは、手動またはロボットシステムにより行うことができます。 156 × 156 × 400 mmの標準ブリック@ 1mmの解決のための4分以下の測定速度。抵抗率マッピングオプションは、頻繁な再キャリブレーションすることなく長い時間の安定性が付属しています。基準測定用キャリブレーションセットもご利用いただけます。分離と目的のドーピング型の上に補償による伝導型の変換の空間分解計測を高い空間分解能で初めて検討することができる。