MBRAUN 박막 공술서 체계는 대학 연구에 있는, 뿐 아니라 대규모 산업 신청에서 사용을 위해 설계됩니다. 우리는 표준기도 하고 주문 박막 공술서 체계를 제안합니다.
다중층 박막은 층을 건설하는 순수한 대기의 상태 (산소와 습기의 <1 ppm)를 요구하고, 그 미세 입자는 빨리, 믿을 수 있 그리고 지속적으로 제거됩니다. MBRAUN OLED/PLED 박막 증발기 글로브 박스는 다중층 박막의 공술서를 위해 디자인되었습니다; physi에 기인하는 중간 레이어를 교란하거나, 화학 흡착 없이.
MBRAUN 박막 공술서 체계와 분대는 일상적으로 반도체 소자 제작 신청에서 <5%의 코팅 균등성을 달성하는 고신뢰 체계입니다. 제품 구성은 독립 종 모양의 항아리에서 300mm에 2"에서 크기로 배열하는 웨이퍼 (와 다른 신청)의 코팅을 위한 글로브 박스에 있는 자동 선적 체계에 배열합니다.