Dit verfijnde, flexibele systeem van de wafeltjemetrologie combineert een micro-Epsilonprofilometer met een krachtig, high-resolution visiesysteem en laserinterferometers om laser-besnoeiing eigenschappen aan één kant van te ontdekken en te meten wafeltjes met betrekking tot eigenschappen op de overkant van het wafeltje.
De Gebogen wafeltjes gaan het systeem bij twee posten van de cassetteschuine stand in. De behandeling van het Wafeltje is via een robot die met een eind van de randgreep wordt gepast - effector. De Wafeltjes zijn georiënteerd op een inkepingsvinder, met wafeltjeIDENTITEITSKAART die door een camera van OPTISCH LEZEN wordt gevangen Cognex. De Wafeltjes worden dan geïnspecteerd bij een zak van het douanewafeltje opgezet bij een assemblage van het open-kader X-Y stadium. Het wafeltje op de lijst wordt geïnspecteerd op zowel de bovenkant als bodem door zich 1392 X 1040 camera's van de pixelvisie te verzetten. De bovenkant en bodeminspecties kunnen worden van verwijzingen voorzien om te bedekken of bodemfiducials.
De Unieke driedimensionele eigenschappen worden geïnspecteerd door de profilometer, die definitieve resoluties van minder dan 0.1 microns verstrekt. Het wafeltje behandeling en inspectie procédé is volledig geautomatiseerd en de wafeltjes worden automatisch gevolgd door het systeem. Bovendien kan het volledige proces visueel met de douane touch-sensitive schermen bij het gebruikersinterface worden gecontroleerd.
De stokvoering van het Wafeltje veroorzaakt metingsfouten aangezien het wafeltje wordt afgetast. Een uniek hulpmiddel en een algoritme van de douane zelf-kaliberbepaling vinden zeer kleine hoekige fouten in de camera's en de machine gebruikt deze informatie om de veroorzaakte fouten te compenseren, om de foutenbegroting te bereiken.
Het systeem wordt op trilling geïsoleerd graniet opgezet dat door een gelaste staalbasis wordt gesteund voor superieure stabiliteit. Al pneumatisch, computer, en de controlehardware is bevat binnen de basisstructuur. Dit hulpmiddel wordt ontworpen voor gebruik in een schoon ruimtemilieu en kenmerkt temperatuur aan boord, vochtigheid en luchtdruk controle en de routines van de weercompensatie.