Isto sofisticado, sistema flexível da metrologia da bolacha combina um profilometer do Micro-Épsilon com um sistema de capacidade elevada, de alta resolução da visão e os interferómetro do laser para detectar e medir características do laser-corte em um lado do características relativas a das bolachas no outro lado da bolacha.
As bolachas Curvadas incorporam o sistema em duas estações da inclinação da gaveta. A manipulação da Bolacha é através de um robô cabido com um terminal do aperto de borda. As Bolachas são orientadas em um inventor do entalhe, com a IDENTIFICAÇÃO da bolacha capturada por uma câmera do OCR de Cognex. As Bolachas são inspeccionadas então em um bolso feito sob encomenda da bolacha montado em um conjunto X-Y da fase do aberto-quadro. A bolacha na tabela é inspeccionada na parte superior e na parte inferior opor as câmeras 1392 X 1040 da visão do pixel. As inspeçãos da parte superior e da parte inferior podem ser providas para cobrir ou assentar fiducials.
As características tridimensionais Originais são inspeccionadas pelo profilometer, fornecendo definições finais de menos de 0,1 mícrons. O processo da manipulação e da inspecção da bolacha é automatizado inteiramente e as bolachas são seguidas automaticamente durante todo o sistema. Além, o todo o processo pode visualmente ser monitorado com as telas toque-sensíveis feitas sob encomenda na interface de utilizador.
O curvatura da Bolacha causa erros de medida enquanto a bolacha é feita a varredura. Uma ferramenta e um algoritmo feitos sob encomenda originais da auto-calibração encontram que os erros angulares muito pequenos nas câmeras e na máquina usam esta informação para compensar os erros induzidos, para conseguir o orçamento do erro.
O sistema é montado no granito isolado vibração apoiado por uma base de aço soldada para a estabilidade superior. Todo O pneumático, computador, e hardware do controle são contidos dentro da estrutura baixa. Esta ferramenta é projectada para o uso em um ambiente do quarto desinfetado e em uma temperatura a bordo das características, a monitoração da umidade e da pressão barométrica e as rotinas da compensação do tempo.