Flache Sonde neuer Generation CAMECAS: die Metrologielösung für moderne Integration von neuen Prozessen.
Der Nutzen EX-300 von in einem Jahrzehnt der Erfahrung mit LEXES-Technologie in der Halbleiterindustrie: Dutzende der Flachen Sonden LEXFAB-300 sind an den höchst--zehn Halbleiterherstellungsanlagen weltweit installiert worden. Das EX-300 wird für neue schwierige Anwendungen wie SiGe und HKMG anvisiert, und es ist entworfen, um die Zeit zu marketof fortgeschrittenen Logik- u. größtintegrierten Speicherbauelementen beim Erzielen des hohen Produktionsertrags zu beschleunigen.
Das Werkzeug der Wahl für Vorderseitenprozeßfragen am Knoten 32nm und jenseits
Die berührungsfreie, zerstörungsfreie LEXES-Technik ist eine einzigartige Lösung für direktes Maß der chemischen Zusammensetzung an der Oberflächen- und nahen Oberfläche.
Das EX-300 bietet eine Platte von den ergänzenden Fähigkeiten an, welche die Gebiete der klassischen Metrologie gegenwärtigen schwierigen Prozessen vergrößern:
- Ultra flache Implantate: Überwachung der niedrigen Energie, Implantate der hohen Konzentration.
- Belastetes Silikon prozesskontrolliert: Chemische Zusammensetzung und Stärke in den Epitaxial- Schichten wie B: SiGe-andP: Sic ohne Beschränkung in der Schichtzusammensetzung.
- HKMG-Metrologie: Werden die Oxide und das Metall durch eine einzelne Plattform EX-300 gesteuert.
EX-300 CAMECAS liefert erhöhte Langzeitstabilität mit besserer Vakuumgrenze. Das untengenannte Diagramm zeigt Reproduzierbarkeit in einigen Monaten für einen Durchschnitt Als Dosis von 1.97e15 at/cm2 mit einem globalen RSD (1σ) von 0,622%.