Nieuwe de generatie Ondiepe Sonde van CAMECA: de metrologieoplossing voor geavanceerde integratie van nieuwe processen.
De ex-300 voordelen van over een decennium van ervaring met de technologie van LEXICONS in de halfgeleiderindustrie: dozens van lexfab-300 Ondiepe Sondes zijn wereldwijd geïnstalleerd bij de hoogste-tien faciliteiten van de halfgeleidervervaardiging. Ex-300 worden gericht voor nieuwe opwindende toepassingen zoals SiGe en HKMG, en het wordt ontworpen om de tijd aan marketof geavanceerde logica & geheugenapparaten te versnellen terwijl het bereiken van hoge productieopbrengst.
Het hulpmiddel van keus voor front-end proceskwesties bij 32nm knoop en verder
Het niet-contact, de niet destructieve techniek van LEXICONS is een unieke oplossing voor directe meting van de chemische samenstelling aan de oppervlakte en dichtbijgelegen oppervlakte.
De ex-300 aanbiedingen een paneel dat van bijkomende mogelijkheden de domeinen van klassieke metrologie vergroot aan huidige opwindende processen:
- Ultra ondiepe implants: Toezicht op lage energie, hoge concentratieimplants.
- Gespannen siliciumprocesbeheersing: Chemische samenstelling en dikte in epitaxial lagen zoals B: SiGe andP: Sic, zonder beperking in de laagsamenstelling.
- Metrologie HKMG: Zowel worden de oxyden als het metaal gecontroleerd door één uitkiezen platform ex-300.
CAMECA ex-300 levert verbeterde stabiliteit op lange termijn met betere vacuümgrens. De onderstaande grafiek toont reproduceerbaarheid over verscheidene maanden voor een gemiddelde Als dosis 1.97e15 at/cm2 met een globale RSD (1σ) van 0.622%.