Зонд нового поколения CAMECA Отмелый: разрешение метрологии для предварительного внедрения новых процессов.
Преимущества EX-300 от над декады опыта с технологией LEXES в индустрии полупроводника: множества Отмелые Зонды LEXFAB-300 были установлены на средства изготовления полупроводника первой десятки всемирно. EX-300 пристрелно для новых трудных применений как SiGe и HKMG, и оно конструировано для ускорения времени к выдвинутым marketof приборам логики & памяти пока достигающ высокого выхода продукции.
Инструмент выбора для процесса начала выдает на узле 32nm и за пределами
Внеконтактный, метод без разрушения LEXES однозначное решение для сразу измерения химического состава на поверхностной и близко поверхности.
EX-300 предлагает панель комплементарных возможностей увеличивая домены классической метрологии к настоящим трудный процессам:
- Ультра отмелые implants: Контроль низкой энергии, implants высокой концентрации.
- Напряженное управление производственным процессом кремния: Химический состав и толщина в эпитаксиальных слоях как B: AndP SiGe: SiC, без ограничения в составе слоя.
- Метрология HKMG: И окиси и металл проконтролированы одной одиночной платформой EX-300.
EX-300 CAMECA поставляет увеличенную долгосрочную стабильность с более лучшим пределом вакуума. Внизу диаграмма показывает воспроизводимость над несколькими месяцев для среднего Как доза 1.97e15 at/cm2 с глобальный RSD (1σ) 0,622%.