CAMECAS Grund Sond för nya utveckling: metrologylösningen för avancerad integration av nytt bearbetar.
EXEN-300 gynnar från över ett årtionde av erfar med LEXESteknologi i halvledarebranschen: dussintals Grunda Sonder LEXFAB-300 har installerats på de bästa-tio halvledarefabriceringlättheterna över hela världen. EXEN-300 uppsätta som mål för nya utmanas applikationer liksom SiGe och HKMG, och den planläggs för att accelerera tiden till avancerad logik för marketof, & minnesapparater fördriver uppnå kickproduktionavkastning.
Bearbeta av primat för bekläda-avslutar processaa utfärdar på knutpunkten 32nm och det okända
Non-kontakten, oskadliga LEXES som tekniken är en unik lösning för, riktar mätning av den kemiska sammansättningen på ytbehandla, och near ytbehandla.
EXEN-300 erbjuder en panel av kompletterande kapaciteter som förstorar områdena av klassisk metrology till att utmana för ström, bearbetar:
- Ultra grunda implantat: Övervakning av låg energi, kickkoncentrationsimplantat.
- Processaa Spända silikoner kontrollerar: Kemisk sammansättning och tjocklek i epitaxial lagrar liksom B: SiGe andP: SiC med ingen begränsning i lagrarsammansättningen.
- HKMG-metrology: Både oxiderna och belägga med metall kontrolleras av en plattform för singel EX-300.
CAMECAS EX-300 levererar förhöjd långsiktig stabilitet med bättre dammsuger begränsar. Den nedanföra grafen visar reproducibility över flera månader för ett genomsnitt Som dos av 1.97e15 at/cm2 med en global RSD (1σ) av 0,622%.