Hiden EQS is een overzicht, Bolton SIMS sonde voor integratie in uw bestaande UHV kamer van de oppervlaktewetenschap
- Statische/Dynamische SIMS met energieanalyse
- Integraal vooreind ioniser voor RGA
- De analyse van de Samenstelling/van de verontreiniging
- Het profileren van de Diepte
- De opsporing van het Lek en gedesorbeerde gasanalyse
- Compatibel Systeem met het Werkstation van Hiden SIMS
- Geschikt voor integratie liegenen-SIMS
Specificatie voor 1000 Reeksen EQS
- 5x105 cps/nA voor 27Al+ van Al doel onder 5keV AR+ bombardement
- 100 cps/nA voor Cs (CsI)3+ bij 913amu van doel CsI onder 5keV O2+ bombardement
De EQS secundaire ionenmassaspectrometer voor de analyse die van secundaire positieve en negatieve ionen van stevige steekproeven, voorkomen:
- De Hoge detector van de Impuls van de Gevoeligheid Ionen Tellende met 7 decennium dynamische waaier.
- De Controle van de Rooster voor het verbeterde diepte profileren en weergave met geïntegreerde signaalgating.
- 45° de Elektrostatische analisator van de Sector, aftastenenergie bij 0.05 eVtoename 0.25eV FWHM.
- Minimum storing van ionenvliegroute & constante ionentransmissie bij alle energieën.
- Drievoudige filterQuadrupole, massaopties aan amu 2500.
- Het Opsluiten van Maat en koppelingen over drukbescherming te verstrekken.
- Differentially gepompte optie voor gebruik in hoge drukmilieu's.
- De controle van MASsoft via RS232, RS485 of LAN Ethernet.
- Gemakkelijk omgezet aan bestaande systemen