Anstrom 工学の Åmod ラインの人気で拡大して、大型 EvoVac はさらに設定の柔軟性を割り当てます。 グローブボックスの統合は増加されたより広いドアの入り口および区域の高さと改善され基板の間隔へのより大きいソースを可能にします。 EvoVac ラインは沈殿システムのより多くのソースそして柔軟性を捜している研究者のためです。
機能
Evovac の薄膜の沈殿システムの機能は下記のものを含んでいます:
- オングストロームの高度の PC ベースのソフトウエアシステム制御
- 基板の間隔への長いソース
- アルミニウムかステンレス鋼区域オプション
- プロセス条件を満たすためにカスタム設計される
- 多重 PVD プロセスのためのサポート
- グローブボックスの統合オプション
- 1600mm x 1000mm システム足跡
- 滑走および蝶番を付けられたドアオプションの 660mm x 660m x 500mm の高い区域
- アルミニウムかステンレス鋼区域オプション
- プロセス条件を満たすためにカスタム設計される
- 多重 PVD プロセスのためのサポート
- 使用できる国際的な入力電圧
- ユーザーのログオン制御を用いる調理法によって基づく高度の多層沈殿制御
- 順次または共同沈殿
- 標準に fixturing は直径がより大きい基板のサイズの援助のための私達に連絡する 300mm までサポートします
- あらゆるシステムと含まれている工場トレーニング
- 私達の詳しいトレーニングマニュアルは新しいユーザーに装置を作動させ維持する方法を教えます
- ユーザーの安全は区域が開いているときソースへの切断力のような機能と優先する保持されます
- 敏感な、思いやりがあるカスタマーサービスの 1 年の保証