Uitweidend over de populariteit van de lijn van Åmod van de Techniek Anstrom, staat de grotere grootte van EvoVac zelfs nog meer configuratieflexibiliteit toe. De de doosintegratie van de Handschoen is beter met zijn het bredere deur openen en verhoogde kamerhoogte die voor een grotere bron aan substraatafstand toestaan. De lijn EvoVac is voor de onderzoeker die meer bronnen en flexibiliteit in een depositosysteem zoeken.
Eigenschappen
De Eigenschappen van het Evovac systeem van het dunne filmdeposito omvatten:
- Het Ångström ging PC gebaseerde softwaresysteemcontrole vooruit
- Lange bron aan substraatafstanden
- De kameropties van het Aluminium of van het roestvrij staal
- Douane die wordt ontworpen om aan uw procesvereisten te voldoen
- Steun voor veelvoudige processen PVD
- De optie van de de doosintegratie van de Handschoen
- 1600mm x 1000mm systeemvoetafdruk
- 660mm x 660m x 500mm lange kamer met het glijden en scharnierende deuropties
- De kameropties van het Aluminium of van het roestvrij staal
- Douane die wordt ontworpen om aan uw procesvereisten te voldoen
- Steun voor veelvoudige processen PVD
- Internationale beschikbare inputvoltages
- Gebaseerde het Recept ging multi-layer depositocontrole met de controle van de gebruikersopening van een sessie vooruit
- Opeenvolgend of mede-deposito
- Het Standaard fixturing te steunen gelieve tot 300mm diameter ons voor hulp met grotere substraatgrootte contacteren
- De opleiding van de Fabriek inbegrepen met elk systeem
- Ons gedetailleerd opleidingshandboek onderwijst nieuwe gebruikers om de apparatuur in werking te stellen en te handhaven
- De veiligheid van de Gebruiker wordt gehouden met eigenschappen zoals scherpe macht aan bronnen primordiaal wanneer de kamer open is
- Éénjarige garantie met de ontvankelijke en gevende klantendienst