擴展在 Anstrom 工程的 Åmod 線路大眾化,更加大號的 EvoVac 的允許更加配置靈活性。 手套盒綜合化改進與其更寬的門空缺數目和增加的房間高度允許對基體距離的一個更加巨大的來源。 EvoVac 線路是為尋找更多來源和靈活性在證言系統的這位研究員。
功能
Evovac 薄膜證言系統的功能包括:
- 埃先進的 PC 的軟件系統控制
- 對基體距離的長的來源
- 鋁或不鏽鋼房間選項
- 按客戶需要設計符合您的處理要求
- 技術支持多個 PVD 進程
- 手套盒綜合化選項
- 1600mm x 1000mm 系統腳印
- 與下滑和取決於的門選項的 660mm x 660m x 500mm 高房間
- 鋁或不鏽鋼房間選項
- 按客戶需要設計符合您的處理要求
- 技術支持多個 PVD 進程
- 可用國際的輸入電壓
- 處方與用戶登錄控制的基於先進的多層證言控制
- 連續或共同證言
- 標準 fixturing 支持直徑為與更大的基體範圍的協助請與我們聯繫的 300mm
- 工廠培訓包括有每個系統
- 我們的詳細訓練手冊教新的用戶如何運行和維護設備
- 當這個房間是開放的時,用戶安全性對負至高無上與功能例如對來源的剪切功率
- 與響應能力和有同情心的客戶服務部的一年的保修單