Ionfab500Plus werd ontworpen hoofdzakelijk voor ultra hoog - kwaliteits optische dunne films en werd eerst geleverd in het jaar 1983. Het depositohulpmiddel was de eerste in de handel verkrijgbare ionenstraal sputtert depositosysteem voor de gyroscoopvervaardiging van de ringslaser. Onlangs, hebben de klanten spiegels met minder dan 20ppm op een in de handel verkrijgbaar systeem gebruikend Ionfab500Plus aangetoond.
Zeer Belangrijke Eigenschappen
De belangrijkste eigenschappen van Ionfab 500Plus zijn:
- Het systeem is speciaal ontworpen om aan de behoeften van klanten te voldoen die hoge productie eisen.
- Dit wordt door het gebruik van de 4 x 10“ planetarische substraten en de capaciteit toegelaten om 14“ doelstellingen te gebruiken.
- Een Ander belangrijk voordeel aan klanten die hoge productie nodig hebben is het gebruik van zelfs drie doelstellingen impliceren, die dat de afzonderlijke materiële lagen kunnen worden gedeponeerd zonder het vacuüm te breken.