Nanofab 800Agile 提供 nanowires 和 nanotubes 非常好的增长与在原处催化剂启动和周到程序控制。
关键功能
Nanofab 800Agile 的功能是：
- 使用不同的样本大小至 200mm 薄酥饼最大数量是可能的
- 金属化化合物半导体 nanowires 的有机 (MOCVD) 前体发运
- PECVD 影片功能
- 影片重点被定购的增长和控制
- 高温均一和灵活的敏捷性控制
- 能力处理在高流和压情况
- 选项液体来源送货系统
- 真空提供单独范例准备和进程运算的负荷锁定
处理工具功能
Nanofab 800Agile 的处理工具功能是：
- 可以控制与灵活的温度至 800 °C nanowires 和 nanotubes 的增长
- 敏捷冷却和加热迅速周转的
- PECVD - 标准和高温证言
- 高温电极
处理福利
Nanofab 800Agile 的处理福利是：
- nanowires 和 nanotubes 可控制的增长
- 催化剂的等离子预处理被改进的增长的
- 至 800 °C 的焖火功能
- PECVD 与优越均一、高的影片特性沉积率和控制的影片证言的清楚的范围包括重点、 R.i.、电子特性和湿化工铭刻费率
使用的 nanostructured 材料包括 C， Si， Ge， ZnO，高23， GaN， GaAs，空白， InP，客栈。 PECVD 影片是 SiO2， SiNx， Si， SiON，多 Si， SiC