オパールは 1 つのコンパクトなツールの血しょう、提供の上昇温暖気流 (ALD)および血しょう両方 ALD に明確で、便利なアップグレードのルートが付いている革新的な熱原子層の沈殿ツールを進水させました。
主要特点
ALD システムの機能は次のとおりです:
- Open 血しょうオプションと熱 ALD のツールをロードしました
- 血しょうオプションのために提供されるフィールド・アップグレード
- 小さいウエファーは企業のために適した 200mm のウエファーを - 均等に十分に継ぎ合わせますまで
- そして学術の協会。
R & D 上昇温暖気流や血しょう化学はのために提供されます:
- 酸化物: HfO2、 AlO23、 TiO2、 SiO2、 ZnO、タオ25
- 窒化物: 錫、罪34
- 金属: Ru、 Pt
ALD のシステム便益
オパール ALD システムの利点は次のとおりです:
- 固体 4 までまたは液体の前駆物質の泡立つか、または蒸気引くこと
- 窒素によって清浄にされるグローブボックスは乾燥した環境のためのサンプルエントリロードロックを持っているシステムに合うことができます
- はさみ金は容易に取り外し、区域のクリーニングの時間は最小化することができます
- In-situ 分析的なオプションは ALD の制御ソフトウエアに組み込まれる分光 ellipsometry 含めます
- システムは急速なサイクル ALD のためにオパールのマルチユーザーのレベル、制御ソフトウエア運転され、使用しやすいそしてカスタマイズされる使用します PC2000TM の、調理法を。
ALD アプリケーション
オパール ALD の主アプリケーションは次のとおりです:
- 記憶のコンデンサーの誘電体
- Cu のための高いアスペクトレシオの拡散障壁は相互接続します
- Nano 電子工学
- 高k ゲートの酸化物
- 水晶シリコン太陽電池の不動態化
- OLEDs およびポリマーのためのピンホールなしの不動態化の層
- MEMS および microfluidic アプリケーションのための非常に等角のコーティング
- nanoporous 構造のコーティング
- 燃料電池
- 生物 MEMS