단백석은 1개의 조밀한 공구에 있는 플라스마, 제안 열 (ALD) 및 플라스마 둘 다 ALD에 명확하고 편리한 향상 경로를 가진 혁신적인 열 원자 층 공술서 공구를 발사했습니다.
주요 특징
ALD 시스템의 특징은:
- Open 플라스마 선택권으로 열 ALD 공구를 적재했습니다
- 플라스마 선택권을 위해 제안되는 필드 업그레이드
- 작은 웨이퍼는 기업을 위해 적당한 200mm 웨이퍼를 - 동등하게 충분히 잇습니다 까지
- 그리고 학문적인 학회.
연구 및 개발 열 및 또는 플라스마 화학은을 위해 제안됩니다:
- 산화물: HfO2, 항공 연락 장교23, TiO2, SiO2, ZnO, TaO25
- 질화물: 주석, 죄악34
- 금속: Ru, Pt
ALD 체계 이득
단백석 ALD 시스템의 이득은:
- 단단한 4 까지 또는 액체 선구자의 포입하거나 수증기 끌기
- 질소에 의하여 깨끗이 한 글로브 박스는 건조한 환경을 위한 견본 입력 짐 자물쇠를 비치하고 있는 시스템에 적합하 할 수 있습니다
- 강선은 쉽게 파견되골 약실 청소 시간은 극소화될 수 있습니다
- 제자리 분석적인 선택권은 ALD 제어 소프트웨어에서 통합된 분광 ellipsometry 포함합니다
- 시스템은 급속한 주기 ALD를 위해 단백석 다중 사용자 수준, 제어 소프트웨어 몰고, 사용해 쉬운 PC2000TM 조리법을 주문을 받아서 만들어진 이용합니다.
ALD 응용
단백석 ALD의 중요한 응용은:
- 저장 축전기 유전체들
- Cu를 위한 높은 종횡비 유포 방벽은 상호 연락합니다
- Nano 전자공학
- 높은 k 문 산화물
- 수정같은 실리콘 태양 전지의 패시베이션
- OLEDs와 중합체를 위한 작은 구멍 자유로운 패시베이션 층
- MEMS와 microfluidic 응용을 위한 높게 등각 코팅
- nanoporous 구조물의 코팅
- 연료 전지
- 생물 MEMS