蛋白石生成了有一個清楚和方便升級 (ALD)途徑的一個創新熱量基本層證言工具對等離子、提供的上升暖流和等離子 ALD 在一個緊湊工具。
關鍵功能
ALD 系統的功能是：
- Open 用等離子選項裝載了熱量 ALD 工具
- 為等離子選項提供的現場升級
- 小的薄酥餅充分編結 200mm 薄酥餅 - 相等地適用於行業
- 并且學術學院。
R&D 上升暖流和等離子化學提供為：
- 氧化物： HfO2， AlO23， TiO2， SiO2， ZnO，陶25
- 氮化物： 錫，罪孽34
- 金屬： Ru， Pt
ALD 系統增益
蛋白石 ALD 系統的福利是：
- 起泡或四固定或液體前體蒸氣凹道
- 氮氣被清除的手套盒可以適合到有這個的系統範例項一個乾燥環境的負荷鎖定
- 劃線員可以容易地被分開，并且房間清潔時間可以減到最小
- 原地分析選項在 ALD 控制軟件包括合併的分光鏡 ellipsometry
- 這個系統使用一個蛋白石多用戶級別，被驅動的處方， PC2000TM 是方便操作和自定義為迅速循環 ALD 的控制軟件。
ALD 應用
蛋白石 ALD 的關鍵應用是：
- 存貯電容器電介質
- 古芝的高長寬比擴散勢壘區互聯
- 納諾電子
- 高的 k 門氧化物
- 水晶硅太陽能電池的鈍化
- OLEDs 和聚合物的針孔自由的鈍化層
- 高度 MEMS 和 microfluidic 應用的保形塗層
- nanoporous 結構塗層
- 燃料電池
- 生物 MEMS