El PlasmaPro System400 se utiliza para el único-fulminante o el tratamiento por lotes PVD que tramita y ofrece la adaptabilidad de la C.C. pulsada, de la C.C., del rf y del magnetrón reactivo chisporroteando. Encuentra aplicaciones en la producción o investigación y revelado. El PlasmaPro System400 se puede configurar con 4 x 200 milímetros o 6 x 100 magnetrones del milímetro rf y/o de la C.C. El único compartimiento de proceso se secciona en 4 o 6 sub-compartimientos, aislando las fuentes de uno a y eliminando los altos costos de agrupar varios únicos compartimientos de proceso. Los procesos De Múltiples Capas son automatizados por recetas de proceso en el software de la herramienta del proceso de PC2000TM, con sus opciones de interfaz gráfico conviviales e intuitivas flexibles.
Características Salientes
Las características salientes del PlasmaPro System400, uniformidad de proceso óptima de ofrecimiento y estabilidad, incluyen:
- La operación del vector del fulminante se puede hacer en modo giratorio o estático.
- Es posible asociar máscaras de la uniformidad para mejorar uniformidad o quitarlas para los procesos de la alta tasa.
- el polarizado del rf activa la limpieza previa del plasma.
- El asiento del fulminante de Loadlocked reduce la contaminación de la partícula.
- La cryo-bomba Opcional se proporciona para las aplicaciones humedad-sensibles.
- El sistema puede chisporrotear los metales y los óxidos que tienen espesores del film de 20nm hasta vario mm.
- Puede ser utilizado para el rango completo de metales chisporroteados - del Al al Zr.
- La Adaptabilidad en procesos y materiales es posible por la gama de temperaturas ancha del vector del fulminante, con refrigeración por agua y la calefacción hasta 300°C.
- el polarizado del rf activa la deposición plasma-ayudada para temperaturas más bajas, la mayor adherencia y la mayor adaptabilidad en la opción de los materiales del substrato
- Los materiales Múltiples se pueden depositar en un compartimiento en un único proceso.
El PlasmaPro System400 ofrece una variedad de fulminante que maneja las opciones, incluyendo:
- loadlock del Único-Fulminante.
- Cargamento del Magazín.
- Magazín-a-magazín Agrupado vía transferencia robótica del fulminante.
- Producción Flexible del Volumen.
La capacidad de cargamento se muestra en el vector abajo:
| Talla del Fulminante (milímetro) | Capacidad |
| 50 | 8 |
| 75 | 8 |
| 100 | 8 |
| 150 | 4 |
| 200 | 4 |
La uniformidad típica se muestra en el vector abajo:
| 100 milímetros | ± el 3% |
| 125 milímetros | ± el 4% |
| 150 milímetros | ± el 5% |