Le PlasmaPro System400 est utilisé pour l'unique-disque ou le lot PVD traitant et offre la souplesse du C.C pulsé, du C.C, du rf et du magnétron réactif pulvérisant. Il trouve des applications dans la production ou la recherche et le développement. Le PlasmaPro System400 peut être configuré avec 4 x 200 millimètres ou 6 x 100 magnétrons du millimètre rf et/ou du C.C. La cavité de processus unique est sectionnée dans 4 ou 6 sous-cavités, isolant les sources entre eux et éliminant les coûts élevés de grouper plusieurs cavités de processus uniques. Des procédés Multicouche sont automatisés par des recettes de processus en logiciel d'outil de procédé de PC2000TM, avec ses options de surface adjacente graphique conviviales et intuitives flexibles.
Caractéristiques techniques Saillantes
Les caractéristiques techniques saillantes du PlasmaPro System400, uniformité de processus optima de offre et stabilité, comprennent :
- Le fonctionnement de la table de disque peut être fait dans la rotation ou le mode statique.
- Il est possible de fixer des masques d'uniformité afin d'améliorer l'uniformité ou les retirer pour des procédés de haut débit.
- la polarisation de rf active le prénettoyage de plasma.
- L'entrée de disque de Loadlocked réduit la contamination de particules.
- La cryo-pompe Optionnelle est donnée pour des applications humidité-sensibles.
- Le système peut pulvériser des métaux et des oxydes ayant des épaisseurs de film de 20nm jusqu'à plusieurs mm.
- Peut être utilisé pour le domaine complet des métaux pulvérisés - d'Al au Zr.
- La Souplesse en procédés et matériaux est possible par la grande plage de températures de la table de disque, avec le refroidissement par eau et la chauffage jusqu'au 300°C.
- la polarisation de rf active le dépôt plasma-aidé pour de plus basses températures, une adhérence plus grande et une souplesse plus grande dans le choix des matériaux de substrat
- Des matériaux Multiples peuvent être déposés dans une cavité dans un procédé unique.
Le PlasmaPro System400 offre un grand choix de disque traitant des options, comprenant :
- loadlock d'Unique-Disque.
- Charge de Magasin.
- Magasin-à-magasin Groupé par l'intermédiaire de transfert robotique de disque.
- Débit Flexible de Volume.
La capacité de charge est affichée dans la table ci-dessous :
| Taille de Disque (millimètre) | Capacité |
| 50 | 8 |
| 75 | 8 |
| 100 | 8 |
| 150 | 4 |
| 200 | 4 |
L'uniformité typique est affichée dans la table ci-dessous :
| 100 millimètres | ± 3% |
| 125 millimètres | ± 4% |
| 150 millimètres | ± 5% |