PlasmaPro Estrelas 100 はオックスフォードの器械によって最近進水してしまいました。 システムは優秀なプロセスパフォーマンスを提供します。
PlasmaPro Estrelas 100 は心の R & D の市場と開発され、優秀なプロセス柔軟性を提供します。 ハードウェアが同じ区域の Bosch そして cryo の腐食の技術を実行する機能と発達したので Nano および微細構造容易に得ることができます。
サイドウォールプロセスを滑らかにして下さい、また高レートのキャビティ腐食は PlasmaPro Estrelas100 と行うことができます。 システムは MEMS アプリケーションの広い範囲が区域のハードウェアをことを変更しないで可能であることを保障するように設計されています。
PlasmaPro Estrelas100 の主な特長は下記のものを含んでいます:
- 50 からの 200 の mm にサイズと互換性がある、システムは同じ区域のハードウェアを使用して生産に持って行くことができる装置を発達させるために機能を保障します。
- 静電気および機械に締め金で止めること。
- 熱くするはさみ金。
- ` の最初ウエファーの効果を」除去する高められた血しょう安定性。
- 機械間の中間のウエファースループットを増加する減らされたポリマー集結はきれいになります。
- 速い機能の閉じつながれた MFCs は原子層の沈殿のために最初に設計されているソフトウェアを利用します。
- 減らされた薬室容積は高ガスの導電率を保障します。
- 最適化されたハードウェアを通した所有権の低価格およびプロセス制御。