具体的には基本的なプラズマ物理学の研究のために成長して、血しょう診察道具の Hiden の分析的な範囲は新しい PSM 血しょうモニタの付加と今拡張されます。 グループは - Espion Langmuir 式血しょうプローブとともに…今 2 つの質量分析計システムを - PSM および EQP II 構成します。
質量分析計は統合されたエネルギーフィルターを血しょうイオンおよび中立種の測定に、与えま各血しょうイオンタイプのエネルギーの測定を可能にします。 PSM システムは肯定的で、否定的なイオン測定を提供する EQP II システムを肯定的なイオンの測定に、与えるために設定されます。 アクセサリの広範囲の範囲はミリトアからの大気の、多くの範囲オプションアドレス指定するための単一の、二重および三重段階圧力減少システムを 1000amu、イオンエネルギーの測定 1000eV にににプロセス圧力からのサンプリングを、および広範囲磁気保護含んでいます。
Hiden Espion Langmuir のプローブはイオン密度、電子密度、電子温度の分布および血しょう均等性を含む一次 DC および RF 血しょうの静的な、 spacial 測定をパラメータ提供します。 プローブは 1.2M まで任意選択長さと供給され、直線運動は 0.9M まで旅行と運転します。 プローブおよび線形駆動機構操作は両方十分にプログラム可能です。
脈打った血しょうプロセスの最適性格描写のための統合されたタイミングおよびゲート回路そして副マイクロ秒の応答のすべてのシステム特徴の州の芸術制御。