칼 자이스 혈구 SMT는 현재 제한 이외 스캐닝 빔 기술을 밀고 - 전자 및 이온 현미경을 검색하기위한 새로운 기록 해상도 벤치 마크를 설정했다. 자이스 혈구 '혁명 오리온 헬륨 이온 현미경을 채용함으로써, 2.4 Angström (0.24 나노미터)의 표면 해상도는 반복적으로 다양한 샘플에 대한 (25 % -75 % 에지 상승 기준) 달성되었습니다.
이 해결 방법 - 단일 원자의 직경에 가까운되는가 - 심지어 가장 정교한 스캐닝 전자 현미경이 동일한 표면 감도 오늘 달성할 수있는보다 세 배 더 있습니다. 그것은 subnanometer 범위에서 표면 이미징에 대한 새로운 벤치 마크를 설정합니다. 기존 고객이 성능 수준으로 시스템을 업그레이 드하는 기회를 갖게됩니다.
닥터 니콜라스 P. Economou, 칼 자이스 혈구 SMT의 수석 부사장, 결과에 대한 열정적입니다 "전자와 이온 현미경을 스캔 표면 이미징에 대해이 타의 추종을 불허 해상도 그 작은 기능을 볼 필요가 반도체 제조 업체 및 많은 다른 사람에게는 매우 중요합니다 현재 확인할 수 없습니다. "반도체 장치의 기능 규모의 지속적인 수축은 극단적인 고해상도 현미경이 필수 있습니다. "집적 회로의 일부 레이어가 이미 몇 원자 두께에 도달했습니다"박사 Rainer Knippelmeyer, 칼 자이스 혈구 SMT의 수석 부사장의 작업 설명, "반도체 제조 업체는 신뢰할 수있는 고해상도의 표면에 민감한 계측이 원활하고 있고 공정 제어 도구. 오리온 헬륨 이온 현미경으로 우리가 정확하게 도구 산업 및 나노기술 연구의 필요를 제공하고 우리는 산업이 빠르게 요구 사항을 변경의와 속도를 유지하기 위해 계속합니다. "
헬륨 이온 현미경의 극단적인 고해상도의 비밀은 독점 소스 기술과 스캐닝 이온 빔과 시료의 표면 사이의 상호 작용에 자리잡고 있습니다. 현미경의 소스는 아주 작은이고 헬륨 이온은 하나의 원자처럼 작은 지역에서 쏘아내는. 전자와 달리 헬륨 이온은 매우 작은 파장을 가지고 있으며 따라서 불리한 회절 효과에서 appreciably 용납하지 않는다 - 기본적으로 전자의 이미지 해상도를 제한 물리학의 법칙을. 또한, 헬륨 이온 빔이 시료의 표면에서 직접 신호를 트리거 매우 샘플을 입력시 collimated 유지. 쉽게 해석될 수 있습니다 인용한 해상도로 매우 샤프하고 민감한 표면 이미지를이 발생합니다. 반대로, 전형적인 SEM에 대한, 이미징에 사용되는 보조 전자의 대부분은 오리온 헬륨 이온 현미경보다 해상도 blurrier 이미지를 생성, 샘플 내에서 깊이 그리고 훨씬 덜 제한된 지역에서 왔어요.
혁신적인 리소그래피 광학의 세계적인 선두뿐만 아니라, 광학 및 입자 빔 기반 검사, 분석 및 측정 시스템과 같은, 칼 자이스 혈구 SMT 산업 제조 환경에서 고객을위한 새로운 길, 품질 보증, 산업 및 학술 R & D를 엽니다 시장 리더십의 수십년이의 성공을 기반으로 최고의 노하우를 조명, 전자 및 이온 광학 기술 인치 함께 독일, 영국, 프랑스, 싱가포르, 이스라엘과 미국의 자회사로, 회사의 국제적인 그룹 이상 2,500 직원을했다. 회계 연도 2006/07 년, 칼 자이스 혈구 SMT AG는 (USD가 ~ 1300000000) 10 억 유로 이상의 수익을 올렸습니다. 칼 자이스 혈구 SMT AG는 칼 자이스 혈구 AG의 자회사입니다.
2008 11월 23일을 게시