卡爾蔡司 SMT 設置了瀏覽的電子和離子顯微學的 - 推進新建記錄解決方法基準在其當前限額之外的掃描線技術。 通過使用蔡司的革命獵戶星座氦氣離子顯微鏡，一個表面解決方法 2.4 Angström (0.24 毫微米) 在多種範例重複達到 (25%-75% 邊緣上升標準)。
是接近一個唯一原子直徑 - 的此解決方法 - 三次好比甚而最複雜的掃描電子顯微鏡能今天達到與同一表面區分。 它設置表面想像的新的基準在 subnanometer 範圍。 現有的客戶將有一個機會升級他們的系統到此性能水平。
尼古拉斯 P. Economou，卡爾蔡司 SMT 的資深副總裁博士，對這個結果是熱心的： 「表面想像的此不匹配解決方法與掃描電子和離子顯微鏡是非常重要為半導體製造商和需要發現小的功能不可能當前解決的許多人。「半導體設備的功能大小持續的收縮使極其高分辨率顯微學必須。 「集成電路有些層已經到達了仅一些個原子的厚度」， Rainer Knippelmeyer，卡爾 SMT 解釋的蔡司資深副總裁運算博士， 「半導體製造商是急需可靠的高分辨率，表面敏感計量學和程序控制的工具。 使用獵戶星座氦氣離子顯微鏡我們正確地提供工具這個行業，并且納米技術研究需要和我們繼續跟上行業的飛速變化的需求」。
在氦氣離子顯微鏡的極其高分辨率的後秘密在所有權來源技術和在掃描離子束和這個標本的表面的之間交往。 顯微鏡的來源是非常小的，并且氦氣離子從區域發出一樣小作為一個唯一原子。 不同於電子，氦氣離子有一個非常小的波長並且不看得出遭受相反衍射效應 - 基本上限制電子的想像解決方法的物理原理。 並且，氦氣離子束觸發信號直接地從這個範例的表面并且堅持非常瞄準在輸入這個範例。 這導致非常鋒利和表面敏感圖像在可以容易地解釋的被引述的解決方法。 相反，為典型的 SEM，為想像使用二次電子的大部分比獵戶星座氦氣離子顯微鏡來自在這個範例內的更加深刻和較不局限的地區，生成更加模糊的圖像用較少解決方法。
作為在創新石版印刷光學，以及光學和微粒射線的全球領導先鋒根據檢驗，分析，并且測量系統，卡爾蔡司 SMT 打開其客戶的新的大道在行業製造環境、質量保證和行業和學術 R&D 裡。 數十年市場領導在其在光、電子和離子光學技術的主導的技術基礎上的成功。 與其輔助一起在德國、英國、法國、新加坡、以色列和美國，國際一批公司有超過 2,500 位員工。 在會計年度 2006/07，卡爾蔡司 AG SMT 創造了超出 EUR1 十億 (USD ~ 收入 13億)。 卡爾蔡司 AG SMT 是卡爾 AG 蔡司一個全部擁有的輔助。
張貼 2008年 11月 23日，