Bruket av xenondifluoriden (XeF2) i etsning bearbetar når ökande godtagande vid producenter av MicroElectroMechanical System (MEMS). Emellertid förhållandevis kostar kicken av det materiellt fortsätter för att vara en barriär till mer utbredd adoption. Lufta Produkter (NYSE, Nu: APD) har fördjupa dess XeCoverySM: den tjänste- xenonåterställningen att återställa xenon från XeF2--basedetsning bearbetar, som ska hjälp stabiliserar och fäller ned även prissätta av XeF2, den noterade Genen Karwacki, reklamfilmutvecklingschefen för XeCovery på Air Produkter, som talade på den Västra YtterlighetElektroniken 2009 för SEMICON TechXPOT.
”Påverkas Prissättningen för XeF2 starkt av tillgängligheten, och prissättningen av xenon,”, sade Karwacki. ”Över de förgångna två åren, har marknadspriset för XeF2 mer än dubblerats på grund av värld-sned boll begäran för xenon i andra applikationer liksom den fabriks- halvledaren, plasmaskärmar, belysning och rymd. För användare och de som betraktar att använda XeF2 för en MEMS, bearbeta, möjliggör kostar XeCovery ett mer stall och lower strukturerar för det materiellt som krävs för deras processaa.”,
Den tjänste- XeCovery xenonåterställningen är ett på plats servar att extraktxenon från processaa utflöde strömmer. En berikad blandning av återställd xenon är komprimerad och lagrad. Fulla skyttlar transporteras därefter offsite för destillation. Lufta Produkter antar ansvar för att äga, att fungera och att underhålla enheterna som förläggas på en plats, som begränsar en kunds investering kostar endast tillhörande med installation och hjälpmedel för att fungera utrustningen.
”, Genom att återställa xenonen från det förloradt, strömma, Lufta Produkter återställer en materiell värdesak genom att använda markant mindre energi än vad är nödvändig extraktxenon från atmosfären,” sade Karwacki. Lufta Produkter kan därefter använda den återställda xenonen till tillverkning XeF2, ”Dessutom. En tjänste- buntade XeCovery och molekylen som XeF2 erbjuder från, Luftar Produkter ger en attraktiv lösning för MEMSEN marknadsför.”,