ASM 국제 NV (나스닥 : ASMI 및 유로 넥스트 암스테르담 : ASM)는 오늘 그것이 2009년 12월 9일 (수요일), 국제 전자 기기 회의 (IEDM)의 마지막 날, 볼티모어, 메릴랜드에있는 기술 오찬 세미나를 개최 것이라고 발표했다. 세미나 원자층 증착 (ALD) 및 플라즈마 향상된 ALD (PEALD)를 사용하여 프로세스를 포함한 볼륨 제조, 높은 - K와 메탈 게이트를 활성화 중요한 재료, 장비 및 프로세스 혁신을 주소로합니다.
이 행사는 두 부분으로 제공됩니다
- 1 부 : 11시 반에서 12시 15분까지 - 워크 - 포스터 세션과 점심 뷔페.
- 2 부 : 12시 15분에서 13시까지 - 프레 젠 테이션 :
- "ALD 하이 - K와 메탈 게이트 공정 솔루션"에 필립 Absil (IMEC)
- "낮은 온도 PEALD 그런가하고 죄를 스페이서"에 형 상 공원 (ASM)
프레 젠 테이션 후, 포스터 및 프리젠 테이션 주제 오픈 대화가있을 것이다.
ASM 세미나 캠든 야드의 110 남쪽 Eutaw 스트리트, 볼티모어, 메릴랜드, 볼티모어에서 힐튼 미만 150m에있는 호텔 볼티모어 메리어트 내부의 하버 스타디움 볼룸에서 개최됩니다. 객실은 11시 30 분에 열립니다. 이해 당사자 Rosanne 드 브리스, + 31 88 100 8569, Rosanne.de.vries @ asm.com에 문의해야합니다.