System100Pro蒸着ツールは、複数のプロセスステップが真空破壊することなく実施できるように、いくつかの成膜技術のために"六角ハンドラ"の提供機能です。クラスタツールは、真空ブレークすることなく、材料の仕事関数と写真の電圧のその場測定能力のためにケルビンのプローブを統合するオプションがあります。
OIPTクラスタシステムは、高真空の低下の背景の汚染レベルで、その結果ハンドラとプロセスモジュールのオプション、およびクラスタの異なる堆積技術に機能を提供しています。ボッシュのシステムは、このように、プロセスの開始時に潜在的な被害を最小限に抑え、高温の基板テーブルの最大700 º Cのオプション、およびソフトウェア内にランプ電力の柔軟性を、組み込まれています。
シュトゥットガルトに拠点を置く、ドイツは、ボッシュが開発、製造、販売して狭い出力許容誤差と高い、安定した出力を特徴としているウエハベースと薄膜シリコン太陽電池を。同社は研究開発で使用するためにOIPTクラスタのツールを購入しています。
再生可能な手段でエネルギーを発生させるに向かって増加傾向で、OIPTは成長しているPV R＆D市場の主要サプライヤーとしての地位を確立しており、より昨年に比べてこの分野での売上高を倍増している。