옥스포드 인스 트루먼 트의 플라즈마 기술 (OIPT)는 단지 로버트 보쉬, 태양 전지의 세계 최고의 제조 업체 중 하나에서 다섯 모듈 클러스터 도구 계약을 수상했다.
System100Pro 증착 도구는 여러 공정 단계 진공 휴식없이 진행 될 수 있도록 여러 가지 증착 기술 '16 진수 처리기'제공하는 기능입니다. 클러스터 도구는 진공 쉬지 않고, 재료 작업 기능과 사진 전압의 원위치 측정 기능에 대한 켈빈 프로브를 통합하는 옵션이 있습니다.
OIPT 클러스터 시스템은 높은 진공 감소 배경 오염 수준에서 발생하는 처리기 및 프로세스 모듈을위한 옵션, 그리고 다른 클러스터 증착 기술 수있는 기능을 제공합니다. 보쉬 시스템은 또한 따라서 프로세스의 시작 부분에서 잠재적인 손상을 최소화 고온 기판 테이블 최대 700 º C에 옵션 및 소프트웨어 이내에 올렸 전원 유연성, 통합되어 있습니다.
슈트 트가 르트에 본사를 둔, 독일, 보쉬는 개발, 제조, 시장 좁은 출력 허용 오차와 함께 높은 안정적인 출력에 의해 특징 웨이퍼 기반 및 박막 실리콘 태양 전지를. 이 회사는 연구 개발에 사용하기 위해 OIPT 클러스터 도구를 구입했습니다.
재생 방법으로 에너지를 생성하는 방향으로 증가 추세로, OIPT는 그리고 작년에 비해이 부문에서 자사의 매출을 두 배 이상의 성장 PV R & D 시장에 주요 공급자로 자신을 설정합니다.