옥스포드 인스 트루먼 트의 플라즈마 기술 (OIPT)는 최근 플라즈마 식각, 증착 및 성장 시스템에서 사용하는 에너지와 질소를 저장합니다 N2 대기 모드라는 자사의 건식 펌프와 함께 사용하기위한 새로운 기능을 개발했다. 이전 건식 펌프 시스템은 자신의 질소 퍼지 최대 분당 35리터로에서 지속적으로 설정했다지만, 질소는 챔버 프로세스 가스를 실행중인 경우이 수준에서 실행해야합니다.
OIPT 새롭게 처리하는 동안 사용에 비해 '대기'모드로 건식 펌프 N2 대기 모드가 질소 가스 사용량 96 %로 저장됩니다 도입의. 시스템 방금 드라이 펌프에 질소 유입구, '유휴'또는 '대기'모드에 양수하는 경우 여전히 펌프 베어링을 정화 계속 동안 펌프를 입력 질소의 양을 줄이기 위해 조절할 수 있습니다. 뿐만 아니라 환경을 혜택으로,이 기능은 또한 상당한 비용 절감을 제공합니다.
펌프는 이전과 프로세스가 모든 가스는 N2로 돌아오기 전에, 안전하게 희석 멀리 펌핑 수 있도록, 그 실행을 완료한 후 정해진 기간 동안 질소의 미리 설정된 흐름을 실행하는 옥스포드 인스 트루먼 트의 'PC2000 시스템 소프트웨어를 통해 설정할 수 있습니다 대기 모드. 처음에는이 새로운 기능은 Adixen 펌프로 구성된 시스템에서 제공하실 수 있습니다. 이것은 새로운 OIPT 시스템에 기본으로 통합되어 있습니다.
"옥스포드 인스 트루먼은 최근 FTSE 그린 인덱스로 승진되었으며이 새로운 기능은 우리를 줄이기 위해 사업 아르 이니셔티브의 숫자 중 하나입니다 - 우리의 고객 '- 탄소 발자국', 의견 마크 Vosloo, OIPT 영업 및 고객 지원 이사. "소유 비용 감소의 추가 혜택이은 모두에게 윈 - 윈 상황하실 수 있습니다. 우리는 그들에게 우리가 OIPT 도구의 수명을 연장하고 가능한 한 그들과 같은 환경 친화적인 만들려는 보증을 제공, 고객에게 장기 공약을 제공에 대한 자부심을. "