Технология Плазмы Аппаратур Оксфорда (OIPT) недавно начала новую вызванную характеристику для пользы с своими сухими насосами, Режимом Ожидания N2, который сохранит энергию и азот используемые своими системами etch, низложения и роста плазмы. Ранее, системы с сухими насосами имели их продувку азота устанавливаемую постоянно на до 35 литры в минуту, но потребности азота только работать на этих уровнях когда камера идущие отростчатые газы.
Режим Ожидания N2 Насоса OIPT заново введенный Сухой сохранит до 96% из использования газа азота когда в ` резервный' режим сравнил к использованию во время обрабатывать. Когда Системы как раз нагнетают, на без дела `' или режиме ` резервном', вход азота к сухому насосу можно контролировать для уменьшения количества азота вводя насос, пока все еще продолжающ для того чтобы продуть подшипники насоса. Также, как помогать окружающей среде, эта возможность также предлагает значительно снижения себестоимости.
Насос можно установить через системное программное обеспечение PC2000 Аппаратуры Оксфорда' для того чтобы работать подачу preset азота на период комплекта до и после того как процесс завершал свой бег, позволяющ всем газам безопасно быть разбавленным и нагнетенным прочь, перед возвращающ к Режиму Ожидания N2. Первоначально эту новую возможность можно только предложить на системах установленных с насосами Adixen. Она интегрирована стандарт на новых системах OIPT.
«Аппаратуры Оксфорда недавно были повышены к Индексу Зеленого Цвета FTSE и эта новая возможность как раз одна из нескольких инициатив мы предпринимаем уменьшить наш - и наши клиенты' - след ноги углерода», комментариев Маркирует Vosloo, Сбывания OIPT и Директор Работы с Клиентом. «С добавленным преимуществом уменьшенной цены владения, этого может только быть беспроигрышная ситуация для каждого. Мы гордимся на предлагать долгосрочное принятие окончательного решения к нашим клиентам, давая им обеспечение что мы хотим расширить жизнь инструментов OIPT и сделать их как в отношении к окружающей среде содружественной как возможно.»