हाल ही में, LayTec epitaxial विकास के दौरान aspherical वक्रता घटक की माप के लिए EpiCurveTT एआर (उन्नत संकल्प) का शुभारंभ किया. उपकरण ग्रहों और अन्य गैस पन्नी रोटेशन MOCVD सिस्टम जहां घूर्णन वेफर्स के दिगंश अज्ञात है के लिए सही समाधान है.
या मामूली (छोटे धनुष - लाल तीर) अक्ष के साथ - ए.आर. बिना मानक EpiCurveTT प्रमुख धुरी (चित्र में नीले तीर दो बड़े धनुष) के साथ या तो बेतरतीब ढंग से उपाय. ग्रहों रिएक्टर में रोटेशन के चरण अज्ञात है. एक परिणाम के रूप में, "शोर" (ग्राफ पर लाल रेखा) संकेत दिखता है: यह दिगंशीय aspherical धनुष का अधिकतम और न्यूनतम के बीच oscilates.
एक 1 - आयामी पता लगाने (EpiCurve ® उन्नत संकल्प के बिना टीटी) पारंपरिक EpiCurve ® (लाल) टीटी और EpiCurve ® टीटी ए.आर. (काला) के साथ और सिस्टम वक्रता माप के साथ मापन सिद्धांत. नए उपकरण संकेत में aspherical विरूपण समाप्त.
नए ए.आर. उपकरण दो सीधा सीधा axes साथ वक्रता उपायों और प्रभाव झुकने दिगंशीय 2 क्रम समाप्त.
चित्र में, काला लाइन नई EpiCurveTT एआर सेंसर की वक्रता संकेत से पता चलता है. संकल्प के साथ उन्नत उपकरण के संकेत से शोर अनुपात करने के लिए ± 8 किमी 1 (लाल रेखा) से वक्रता संकेत में सुधार ± 0.2 किमी 1 (काला लाइन) और aspherical योगदान को नष्ट करने से केवल मुख्य वक्रता घटक उपाय.
यहां तक कि asphericity की मात्रा उन्नत संकल्प संकेत के विश्लेषण से निकाला जा सकता है है. अधिक जानकारी के लिए कृपया हमें EpiCurveTT एआर के बारे में नए आवेदन पत्र के लिए पूछना.