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Sistema Óptico Seleto da Metrologia Zeta-200 de Bosch dos Instrumentos do Zeta para o Trabalho do PICOVOLT e do MEMS

Published on October 18, 2010 at 6:44 PM

Zeta Instrumentos, Inc. um fornecedor principal de eficaz na redução de custos, soluções da medida de precisão para a análise da superfície da mícron-escala, anunciadas que Bosch seleccionou o sistema óptico da metrologia Zeta-200 a actividade avançada da investigação e desenvolvimento do apoio em sua “facilidade Corporativa da Engenharia da Pesquisa e do Avanço do Sector” (Pesquisa Corporativa) em Estugarda, Alemanha.

O fornecedor global principal da tecnologia e dos serviços escolheu a imagem lactente da superfície do 3D do Zeta e a solução da metrologia cumprir as exigências rigorosas da medida associadas com uma escala de actividades do R&D de Bosch, incluindo o photovoltaics e o avanço de MEMS (Micro-Electro-Mecânico-Sistemas).

A tecnologia patenteada do Z-Ponto do Zeta das forças de alavanca do sistema do microscópio Zeta-200 para fornecer a imagem lactente 3D rápida de profundamente, as características da relação do alto-aspecto, permitindo o recolhimento da altura da etapa, a aspereza, as dimensões, os ângulos e o volume, tudo sem contactar ou danificar a amostra. Devido a sua capacidade não-destrutiva da medida, usuários possa caracterizar rapidamente as características muito altas do prolongamento, acelerando o desenvolvimento de produtos para a fabricação fluida do microcanal. Igualmente permite a imagem lactente das superfícies complexas, não-lisas que têm a aspereza muito alta e/ou a baixa reflectividade-especialmente que ajudam à pesquisa da célula solar tornando a possível inspeccionar as superfícies que são ásperas e reflectir a luz muito pequena.

Com sistemas ópticos da imagem lactente da tecnologia do Z-Ponto possa traçar rapidamente as características de superfície da mícron-escala em três dimensões. Sob em uma acta, o Zeta-200 faz a varredura verticalmente de uma superfície nos incrementos tão pequenos quanto 15 nanômetros para fornecer medidas exactas das amostras no Z assim como no X e nos Y-Machados. A Maioria de sistemas de medida têm a dificuldade medir estas superfícies, ou exija o alinhamento e a preparação complexos da amostra fazer assim. O Zeta-200 é uma ferramenta óptica fácil de usar da medida que exija menos treinamento e manutenção do que alternativa-fornecendo uma aplicação mais rápida e o melhor valor sobre ferramentas de competência.

“Com o Zeta-200 nós podemos medimos a rapidamente e confiantemente nossa célula solar e estruturas de MEMS, trazendo maiores eficiências e uns mais baixos custos aos processos da fabricação,” indicado, Dr. Thomas Wagner, Células Solares Corporativas do Silicone da Pesquisa em Bosch. “Nós avaliamos opções numerosas da metrologia e escolhemos as mãos Zeta-200 para baixo; permite nossas equipas de investigação de ficar no pelotão da frente de seus campos fornecendo o feedback missão-crítico da metrologia em uma maneira oportuna e eficaz na redução de custos.”

Acoplado com software característico da aplicação, o Zeta-200 fornece as capacidades da imagem lactente e da medida superiores àquelas de microscópios confocal do laser. Além, o Zeta oferece a imagem lactente da verdadeiro-cor, abaixa o custo de sistema e fornece um projecto total mais simples para uma mais baixa manutenção e a maior acessibilidade. Outras soluções tais como sistemas interferómetro-baseados do microscópio exigem o alinhamento meticuloso da amostra e têm a dificuldade ou são incapazes de medir eficazmente amostras da profundo-característica tais como aquelas usadas em MEMS, ao Fazer A Varredura os Microscópios electrónicos (SEMs) fornecem a imagem lactente muito de alta resolução mas exigem longo, preparação da frequentemente destrutiva, amostra e não podem fornecer imagens da verdadeiro-cor.

Rusmin Kudinar, presidente dos Instrumentos do Zeta notáveis, do “tecnologia Z-Ponto fornece vantagens da medida de precisão para uma disposição de superfícies da difícil-à-medida e ideal-é serido para beneficiar aplicações da célula solar e da biotecnologia. Nós somos deleitados que Bosch encontrou nossa solução para ser o melhor na classe e honrado fornecer este componente crítico de seu processo da metrologia.”

Os sistemas de Instrumentos do Zeta são originais em características de oferecimento da metrologia da multi-função dentro de uma única ferramenta integrada da medida. O Zeta-200 tem opções para um sistema ótico da imagem lactente do foto-espectrómetro da espessura de filme, do baixo-contraste de Nomarski/q-DIC, e a vária amostra que segura configurações. Estas opções permitem usuários de medir fino-filmes transparentes em amostras tais como revestimentos anti-reflexivos, fotoresistente e superfícies ultra-lisas com características da nanômetro-escala, assim como de medir amostras em orientações físicas múltiplas.

Last Update: 6. January 2012 10:33

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