Por Cameron Chai
As Tecnologias Aplicadas de Rigaku, um líder na tecnologia de instrumentação analítica e industrial, introduziram um método novo para testar os filmes metálicos finos actuais em bolachas de silicone.
Espectrómetro Dispersivo da Fluorescência do Raio X da Energia de Rigaku NEX CG
As medidas experimentais da empresa são mostradas para AlSi, AlCu, platina, titânio, nitreto titanium, dióxido de silicone e filmes da camada de BPSG os únicos actuais no silicone monitoram bolachas a fim controlar a qualidade na indústria do semicondutor.
A fabricação do dispositivo do circuito, com a incorporação do semicondutor, envolveu os usos seqüenciais de diversas camadas materiais para terminar o conjunto. O método controle de processos na fabricação é crítico. O medidor da Composição e a largura do filme são significativos fazer o desempenho do dispositivo apropriado, com pouca margem para o erro durante o processamento material do semicondutor. O produto pode degradar ou falhar, se qualquer erro ocorre durante sua construção. Os efeitos Adversos podem igualmente ocorrer durante o processamento futuro.
Todos Os únicos filmes da camada foram utilizados como uma camada da adesão e eram aplicados em bolachas de silicone com os 1000 Å de SiO2. A empresa desenvolveu uma seqüência de seis várias calibrações para as larguras dos filmes de AlCu, de AlSi, de Pinta, de Estanho, e de Si a fim mostrar o desempenho de NEX CG. A composição de BPSG foi identificada calculando o P.
Source: http://www.rigaku.com/