Камероном Chai
Глобальный консорциум изготовлений обломока, SEMATECH сообщил что Inpria, специалист в химических материалах для главного низложения тонкого фильма окиси представления, шло членом SEMATECH Сопротивляет Материалам и Разрабатывающей Организации (RMDC) на Университете на Коллеже Albany Науки Nanoscale и Инджиниринга (CNSE).
Как часть программы литографированием SEMATECH, SEMATECH и Inpria будут партнером на ключе сопротивляют возможностям в весьма ультрафиолетов (EUV) литографировании. Inpria неорганическое сопротивляет демонстрирует очень высокое сопротивление etch и разрешало 11 характеристику линии/космоса nm. В этом партнерстве, SEMATECH и Inpria будут использовать эти высок-разрешение сопротивляют для квалификации 0,5 оптик воображения NA EUV на сердечнике продолжающийся главных подъемов для того чтобы выдвинуться сопротивляют исследованию для половин-тангажа £ 11 nm в RMDC. Inpria также улучшит свое сопротивляет светочувствительности материалов для того чтобы выполнить потребности урожайности для предстоящих промышленных приложений.
Партнерство между SEMATECH и Inpria будет построено на материалах полупроводника Inpria водительство выдвинутых делая по образцу и процессах и рынке SEMATECH имеющий хорошую репутацию, опыт полупроводника, и далеко идущая сеть экспертизы и оборудования исследования. RMDC предложит доступ к многочисленним инструментам метрологии и 2 инструментам микро--выдержки установленным на CNSE и Университет Штата Калифорнии, Беркли.
Согласно Андрю Grenville, Генеральный Директор на Inpria, компания может leverage это сотрудничество для ускорения развития материалов литографированием EUV. Это партнерство другой завет к принятию окончательного решения компании для того чтобы адресовать главные вопросы литографированием столкнутые индустрией полупроводника.
Директор Литографирования, Stefan Wurm SEMATECH заявил что это сотрудничество усилит способность RMDC решать ключ сопротивляет возможностям в предварительных материалах и быстро находит соответствующие разрешения для этих общих возможностей технологии.
Источник: http://www.sematech.org