Durch AZoM
Inhaltsverzeichnis
Einleitung Automatisierte Merkmals-Analyse Auffallende Merkmale Über Zeta-Instrumente Einleitung
Die Fälschung von Hochhelligkeit lichtemittierenden Dioden (HB-LED) ist auf Saphirwafers erfolgt. Die Substratfläche wird mit den kleinen Zellen kopiert und erhöht den hellen Abscheidegrad von fertigen Einheiten. Entscheidende Fragen wie Brechungskoeffizientnichtübereinstimmungs- und -kristallversetzungen werden auch unter Verwendung der kopierten Saphirsubstratflächen gelöst (PSS).
Die schnelle Kennzeichnung der Zeta-PSSpauschalangebote von Substratflächenstoßmerkmalen. Ein einzelner Scan ist zum Messen des Abstandes, der Höhe und der Breite fähig. Alle Baumuster Substratflächenstoßrezepte sind erhältliches kuppelförmiges, kegelförmiges, flaches überstiegen Umfassens oder Fotoresist.
Abbildung 1 zeigt einige Beispielscans auf einer Zeta-Optischen Auswerteprogrammanlage.
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Abbildung 1. Beispiel scannt auf einer Zeta-Optischen Auswerteprogrammanlage.
Automatisierte Merkmals-Analyse
Abbildung 2 zeigt eine Querschnittszeile mit einem Oberflächenprofil, Statistiken für Breiten-, Höhen-, Abstand- und Merkmalsabstand im Blickfeld sowie in der zweidimensionalen und voll-justierbaren dreidimensionalen Ansicht von PSS-Stößen.
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Abbildung Analyse mit 2. Querschnitten und verbundene Eigenschaften von PSS-Stößen gemessen mit Zeta-Optischem Auswerteprogramm.
Auffallende Merkmale
Die Merkmale des Zeta-PSSpakets sind:
- Das Zeta-Optische Auswerteprogramm nimmt einen Scan (70 X 90 μm) in Sekunden eines großen Gebiets.
- Software des Zeta 3D aktiviert einen einseitigen Analysebericht, der Zweiabmessung und dreidimensionale Bilder, ein Querschnitt und statistische Analyse aller Merkmale im Blickfeld umfaßt.
- Viele Ergebnisse werden in einem Kalkulationstabellentextformat gesichert.
- Automatisierte X-Ystufe und multistationierte Rezepte aktivieren Kennzeichnung des gesamten Wafers.
- Manuelle Belastungsanlage für R&D und automatisierte X-Ystufe für Produktion.
- Unterdruckspannvorrichtungen für Wafers von verschiedenen Größen.
- Schwingungs- und Umgebungslärmisolierungspaket.
- Piezo-Stufe für 2 nm Höhenauflösung.
- Darstellung der Wahre Farbe 3D aktivieren Zusammenfassung von Defekten wie Kratzern oder fehlenden Stößen.
Zeta 3D Software analysiert zweidimensionale oder dreidimensionale Waferstandardbilder für allgemeine Oberflächenkennzeichnung:
- Schritthöhe.
- Oberflächenrauigkeit.
- Kenngröße, Durchmesser, Bereich und Volumen.
- Waferbogen.
- Sichtbarmachung der Oberfläche 3D in der wahren Farbe.
- Statistiken.
Eine wahlweise Piezo Z-Stufe stellt 2 nm zur Verfügung, Z-Höhe Auflösung und Wiederholbarkeit 3s von kleiner als ± 15 nm * Wie auf einem 1 μm VLSI-Schritthöhenstandard gemessen (FIGS. 3-5).
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Abbildung 3. Zeta-Optische Auswerteprogrammmaße der Höhe und Breite beziehen gut mit FLUGHANDBUCH aufeinander.
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Abbildung 4. Wahlweise Piezo Z-Stufe liefert 2 nm, Z-Höhe Auflösung und Wiederholbarkeit 3s von kleiner als nm* ±15.
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Abbildung 5. Optisches Auswerteprogramm des Zeta-3D mit Piezostufe und 2" Waferfutter.
Über Zeta-Instrumente
Zeta Instrumente ist ein führender Anbieter von Präzisionsmikrostruktur- und -oberflächenmaßanlagen, die Hersteller der Grüntechnologie und der biomedizinischen Produkte aktivieren, Erträge und Qualitätskontrolle im Wesentlichen zu verbessern. Zeta fortgeschrittene Metrologielösungen stellen direkten Nutzen zur Produktion der Hochhelligkeit LED, der Solarzellen, der Mikrofluidik/der Biotechnologie und der magnetischen Speichermedien zur Verfügung. Die patentierte Z-Dot™technologie aktiviert Hersteller zu schnell und durchführen Maß genau 3D der Mikronschuppe Merkmale dieser Anwendungen und bringt Zeta als strategischer Lieferant zu diesen stark wachsenden Industrien in Position.
Metrologielösungen von den Zeta-Instrumenten werden ideal entsprochen, die Maßherausforderungen anzusprechen, die durch diese Industrien konfrontiert werden:
- LED.
- Biotechnologie.
- Solar.
- Datenspeicher.
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Diese Informationen sind Ursprungs- angepasst gewesen, wiederholt und von den Materialien, die von den Zeta-Instrumenten bereitgestellt werden.
Zu mehr Information über diese Quelle, besuchen Sie bitte Zeta-Instrumente.