Da AZoM
Indice
Introduzione Analisi di Funzionalità Automatizzata Funzionalità Salienti Circa gli Strumenti della Zeta Introduzione
La lavorazione dei diodi luminescenti di alto-luminosità (HB-LED) è fatta sui wafer dello zaffiro. Il substrato è modellato con le strutture minuscole, miglioranti il risparmio di temi leggero dell'estrazione delle unità rifinite. Le Questioni critiche quali le dislocazioni del disadattamento e del cristallo di Indice di rifrazione egualmente sono risolte facendo uso dei substrati modellati dello zaffiro (PSS).
Il pacchetto della Zeta-PSS offre la caratterizzazione rapida delle funzionalità dell'urto del substrato. Una singola scansione è capace di misurazione il passo, l'altezza e della larghezza. Tutti I tipi di ricette dell'urto del substrato sono l'inclusione disponibile a cupola, a forma di cono, piano completato o foto-resistono a.
Figura 1 mostra alcune scansioni di esempio su un sistema Ottico del Profilatore della Zeta.
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La Figura 1. Esempio scandisce su un sistema Ottico del Profilatore della Zeta.
Analisi di Funzionalità Automatizzata
Figura 2 mostra una riga a sezione trasversale con un profilo di superficie, statistiche per gioco di larghezza, di altezza, del passo e della funzionalità nel campo visivo come pure nella visualizzazione tridimensionale bidimensionale e pieno-regolabile degli urti di PSS.
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Figura 2. analisi di Sezione Trasversale e caratteristiche associate degli urti di PSS misurati con il Profilatore Ottico della Zeta.
Funzionalità Salienti
Le funzionalità del pacchetto della Zeta-PSS sono:
- Il Profilatore Ottico della Zeta cattura una scansione (70 X 90 μm) nei secondi di un'ampia area.
- Il software della Zeta 3D permette ad un rapporto di una pagina dell'analisi che comprende la due-dimensione ed immagini tridimensionali, una sezione trasversale e l'analisi statistica di tutte le funzionalità nel campo visivo.
- Tantissimi risultati sono salvati in un formato di testo del foglio elettronico.
- Le ricette DI X-Y Automatizzate del multi-sito e della fase permettono alla caratterizzazione di intero wafer.
- Sistema Manuale del caricamento per R & S e fase DI X-Y automatizzata per produzione.
- Mandrini di Vuoto per i wafer delle dimensioni differenti.
- Pacchetto di disturbo Ambientale di isolamento e di Vibrazione.
- Piezo-elettrico-Fase per risoluzione di altezza di 2 nanometro.
- La rappresentazione di Vero colore 3D permette all'esame dei difetti quali i graffi o gli urti mancanti.
Il Software della Zeta 3D analizza le immagini bidimensionali o tridimensionali standard del wafer per la caratterizzazione di superficie generale:
- Altezza di Punto.
- Rugosità Di Superficie.
- Feature size, diametro, area e volume.
- Prua del Wafer.
- visualizzazione della superficie 3D nel colore vero.
- Statistiche.
Una fase Piezo-elettrica facoltativa di Z fornisce 2 nanometro, la risoluzione di Z-Altezza e la ripetibilità 3s di di meno che il ± 15 nanometro * Come misurato su un 1 standard di altezza di punto di VLSI del μm (Fichi. 3-5).
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La Figura 3. misure Ottiche del Profilatore della Zeta di altezza e la larghezza correlano bene con il AFM.
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La Figura 4. fase Piezo-elettrica Facoltativa di Z fornisce 2 nanometro, la risoluzione di Z-Altezza e la ripetibilità 3s di di meno che il nm* ±15.
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Figura 5. Profilatore Ottico della Zeta 3D con la piezo-elettrico-fase e 2" mandrino del wafer.
Circa gli Strumenti della Zeta
Gli Strumenti della Zeta è un fornitore principale dei sistemi di misura della microstruttura e della superficie di precisione che permettono ai produttori della verde-tecnologia e dei prodotti biomedici di migliorare sostanzialmente i rendimenti ed il controllo di qualità. Le soluzioni della metrologia avanzate Zeta forniscono il vantaggio diretto alla produzione di alto-luminosità LED, delle pile solari, del micro-fluidics/della biotecnologia e delle memorie magnetiche. La tecnologia brevettata di Z-Dot™ permette ai produttori a rapidamente ed esattamente realizza la misura 3D delle funzionalità del micron-disgaggio di queste applicazioni, posizionanti la Zeta come fornitore strategico su queste industrie a crescita rapida.
Le soluzioni della Metrologia dagli Strumenti della Zeta sono adatte idealmente ad indirizzare le sfide di misura confrontate da queste industrie:
- LED.
- Biotecnologia.
- Solare.
- Archiviazione di dati.
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Questi informazioni sono state originarie, esaminate ed adattate dai materiali forniti dagli Strumenti della Zeta.
Per ulteriori informazioni su questa sorgente, visualizzi prego gli Strumenti della Zeta.