AZoM의
목차
소개 자동화된 특징 분석 돌출하는 특징 Zeta 계기에 관하여 소개
높 광도 발광 다이오드 (HB LEDs)의 제작은 사파이어 웨이퍼에 행해집니다. 기질은 완성되는 장치의 가벼운 적출 효율성을 강화하는 작은 구조물로 모방됩니다. r.i. 미스매치와 결정 탈구와 같은 중요한 문제점은 또한 모방된 사파이어 기질을 사용하여 해결됩니다 (PSS).
Zeta PSS 포장은 기질 융기 특징의 빠른 특성을 제안합니다. 단 하나 검사는 피치, 고도 및 폭 측정 가능합니다. 기질 융기 조리법의 모든 모형은 유효한 포함 돔 모양, 콘 모양, 편평한 꼭대기에 오르는 감광저항입니다.
숫자 1은 Zeta 광학적인 프로 파일러 시스템에 몇몇 보기 검사를 보여줍니다.
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숫자 1. 보기는 Zeta 광학적인 프로 파일러 시스템에 검사합니다.
자동화된 특징 분석
숫자 2는 PSS 융기의 시계 뿐 아니라 2차원과 가득 차있 조정가능한 3차원 전망에 있는 지상 단면도를 가진 횡단면 선, 폭, 고도, 피치 및 특징 간격을 위한 통계를 보여줍니다.
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숫자 2. 횡단면적인 분석 및 Zeta 광학적인 프로 파일러로 측정되는 PSS 융기의 관련되는 특성.
돌출하는 특징
Zeta PSS 포장의 특징은:
- Zeta 광학적인 프로 파일러는 큰 부위의 초에서 검사 (70 X 90 μm)를 취합니다.
- Zeta 3D 소프트웨어는 시계에 있는 모든 특징의 2 차원 및 3차원 심상, 횡단면 적이고 및 통계 분석 포함하는 1 페이지 분석 보고를 가능하게 합니다.
- 많은 결과는 스프레트시트 문서 형식에서 저장됩니다.
- 자동화한 X-Y 단계와 다중 사이트 조리법은 전체 웨이퍼의 특성을 가능하게 합니다.
- 연구 및 개발을 위한 수동 짐 시스템 및 생산을 위한 자동화된 XY 단계.
- 다른 규모의 웨이퍼를 위한 진공 물림쇠.
- 진동과 환경 소음 격리 포장.
- 2 nm 고도 해결책을 위한 Piezo 단계.
- 트루 컬러 3D 화상 진찰은 찰상 없는 융기와 같은 결점의 검토를 가능하게 합니다.
Zeta 3D 소프트웨어는 일반적인 지상 특성을 위한 표준 2차원 3차원 웨이퍼 심상을 분석합니다:
- 단계 고도.
- 표면 거칠기.
- 최소 배선 폭, 직경, 지역 및 양.
- 웨이퍼 활.
- 트루 컬러에 있는 3D 표면 구상.
- 통계.
선택적인 Piezo Z 단계는 * μm VLSI 단계 고도 기준 1개 (Figs. 3-5)에 측정되는 것과 같이 - ± 15 nm 보다는 더 적은의 2 nm Z 고도 해결책 및 3s 반복성을 제공합니다.
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숫자 3. 고도의 Zeta 광학적인 프로 파일러 측정과 폭은 AFM와 잘 상관합니다.
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숫자 4. 선택적인 Piezo Z 단계는 ±15 nm* 보다는 더 적은의 2 nm, Z 고도 해결책 및 3s 반복성을 제공합니다.
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piezo 단계를 가진 숫자 5. Zeta 3D 광학적인 프로 파일러 및 2" 웨이퍼 물림쇠.
Zeta 계기에 관하여
Zeta 계기는 녹색 기술과 생물 의학 제품의 제조자를 상당히 수확량과 품질 관리를 향상하는 가능하게 하는 정밀도 미세와 표면 측정 시스템의 주요한 공급자입니다. Zeta에 의하여 진행된 도량형학 해결책은 높 광도 LEDs, 태양 전지, 마이크로 응용 유체 역학/생물공학 및 자석 저장 수단의 생산에 직접적인 이익을 제공합니다. Z-Dot™ 특허가 주어진 기술은 빨리에 제조자를 그리고 정확하게 실행합니다 이 고성장 산업에 전략적인 공급자로 Zeta를 두는 이 응용의 미크론 가늠자 특징의 3D 측정을 가능하게 합니다.
Zeta 계기에서 도량형학 해결책은 이상적으로 이 기업에 의해 대결된 측정 도전을 제시하는 적응됩니다:
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이 정보는 Zeta 계속 계기에 의해 제공된 물자에서 sourced, 검토해서 그리고 적응시켜 입니다.
이 근원에 추가 정보를 위해, Zeta 계기를 방문하십시오.