Por AZoM
Índice
Introdução Análise de Característica Automatizada Características Salientes Sobre Instrumentos do Zeta Introdução
A fabricação dos diodos luminescentes do alto-brilho (HB-Diodo emissor de luz) é feita em bolachas da safira. A carcaça é modelada com as estruturas minúsculas, aumentando a eficiência clara da extracção de dispositivos terminados. Os Assuntos críticos tais como deslocações da má combinação e do cristal do R.I. são resolvidos igualmente usando carcaças modeladas da safira (PSS).
O pacote do Zeta-PSS oferece a caracterização rápida de características da colisão da carcaça. Uma única varredura é capaz de medir o passo, a altura e a largura. Todos Os tipos de receitas da colisão da carcaça são cobertura abóbada-dada forma, cónica, lisa incluir ou fotoresistente disponível.
Figura 1 mostra algumas varreduras do exemplo em um sistema Óptico do Perfilador do Zeta.
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A Figura 1. Exemplo faz a varredura em um sistema Óptico do Perfilador do Zeta.
Análise de Característica Automatizada
Figura 2 mostra uma linha de secção transversal com um perfil de superfície, estatísticas para o afastamento da largura, da altura, do passo e da característica no campo de visão assim como na ideia tridimensional bidimensional e completo-ajustável de colisões de PSS.
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Figura 2. análise De Secção Transversal e características associadas das colisões de PSS medidas com o Perfilador Óptico do Zeta.
Características Salientes
As características do pacote do Zeta-PSS são:
- O Perfilador Óptico do Zeta toma uma varredura (70 X 90 μm) nos segundos de uma grande área.
- O software do Zeta 3D permite um relatório de uma página da análise que inclua a dois-dimensão e imagens tridimensionais, uma análise de secção transversal e estatística de todas as características no campo de visão.
- Um grande número resultados salvar em um formato de texto da planilha.
- As receitas X-Y Automatizadas da fase e do multi-local permitem a caracterização da bolacha inteira.
- Sistema Manual da carga para o R&D e fase XY automatizada para a produção.
- Mandris do Vácuo para bolachas de tamanhos diferentes.
- Pacote da Vibração e do isolamento do ruído Ambiental.
- Piezo-Fase para a definição da altura de 2 nanômetro.
- A imagem lactente da cor Verdadeira 3D permite a revisão dos defeitos tais como riscos ou colisões faltantes.
O Software do Zeta 3D analisa bidimensional padrão ou as imagens tridimensionais da bolacha para o general surgem a caracterização:
- Altura da Etapa.
- Aspereza De Superfície.
- Tamanho de Característica, diâmetro, área e volume.
- Curva da Bolacha.
- visualização da superfície 3D na cor verdadeira.
- Estatísticas.
Uma fase Piezo opcional de Z fornece 2 nanômetro, definição da Z-Altura e repetibilidade 3s de menos do que o ± 15 nanômetro * Como medida em um 1 padrão da altura da etapa do VLSI do μm (Figos. 3-5).
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A Figura 3. medidas Ópticas do Perfilador do Zeta da altura e a largura correlacionam bem com o AFM.
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A Figura 4. fase Piezo Opcional de Z fornece 2 nanômetro, definição da Z-Altura e repetibilidade 3s de menos do que o nm* ±15.
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Figura 5. Perfilador Óptico do Zeta 3D com piezo-fase e 2" mandril da bolacha.
Sobre Instrumentos do Zeta
Os Instrumentos do Zeta são um fornecedor principal dos sistemas de medida da microestrutura e da superfície da precisão que permitem fabricantes da verde-tecnologia e de produtos biomedicáveis de melhorar substancialmente rendimentos e controle da qualidade. As soluções avançadas Zeta da metrologia fornecem o benefício directo à produção de Diodo emissor de luz do alto-brilho, de células solares, de micro-fluídica/biotecnologia e de suportes de memória magnéticos. A tecnologia patenteada de Z-Dot™ permite fabricantes executa a rapidamente e exactamente a medida 3D das características da mícron-escala destas aplicações, posicionando o Zeta como um fornecedor estratégico a estas indústrias de crescimiento rápido.
As soluções da Metrologia dos Instrumentos do Zeta são seridas idealmente endereçar os desafios da medida confrontados por estas indústrias:
- DIODO EMISSOR DE LUZ.
- Biotecnologia.
- Solar.
- Armazenamento de dados.
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Esta informação foi originária, revista e adaptada dos materiais fornecidos por Instrumentos do Zeta.
Para obter mais informações sobre desta fonte, visite por favor Instrumentos do Zeta.