被仿造的青玉基体的描述特性使用 3D 光学仿形铣床的

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简介

生产高亮光发光二极管 (乙肝 LEDs) 在青玉薄酥饼完成。这个基体仿造与微小的结构，提高完成的设备轻的提取效率。使用被仿造的青玉基体，关键问题例如 R.i. 配错和水晶脱臼也解决 (PSS)。

ZetaPSS 程序包提供基体爆沸功能的快速描述特性。唯一扫描能够评定间距、高度和宽度。基体爆沸处方的所有类型是可用包括圆屋顶形，圆锥形，平顶或者光致抗蚀剂。

图 1 显示在 Zeta 光学仿形铣床系统的一些示例扫描。

图 1. 示例在 Zeta 光学仿形铣床系统浏览。

自动化的功能分析

图 2 在 PSS 爆沸视野以及二维和充分可调整的三维视图显示与一个表面配置文件的一条横截线路，宽度、高度、间距和功能间隔的统计数据。

图 2. 短剖面分析和关联特性 PSS 爆沸评定与 Zeta 光学仿形铣床。

明显功能

ZetaPSS 程序包的功能是：

Zeta 光学仿形铣床在一大区的几秒钟内采取扫描 (70 X 90 μm)。
Zeta 3D 软件启用在视野包括二维数和三维图象，对所有功能的一个短剖面和统计分析的一页分析报表。
很大数量的结果被保存以电子表格文本格式。
自动化的 X - Y 的阶段和多位置的处方启用整个薄酥饼的描述特性。
R&D 的手工负荷系统和生产的自动化的 X - Y 的阶段。
不同的范围薄酥饼的真空牛颈肉。
振动和环境噪声隔离程序包。
2 nm 高度解决方法的压力阶段。
真彩色 3D 想象启用缺陷回顾例如临时或缺少爆沸。

Zeta 3D 软件分析通用表面描述特性的标准二维或三维薄酥饼图象：

步骤高度。
地面粗糙度。
功能大小、直径、区和数量。
薄酥饼弓。
3D 在真彩色的表面形象化。
统计数据。

一个选项压力 Z 阶段在一个 1 个μm VLSI 步骤高度标准 (Figs. 比 ± 15 毫微米提供 2 nm、 Z 高度较少的解决方法和 3s 反复性 * 如被评定 3-5)。

图 3. 高度 Zeta 光学仿形铣床评定和宽度很好关联与 AFM。

图 4. 选项压力 Z 阶段比 ±15 nm* 提供 2 nm、 Z 高度较少的解决方法和 3s 反复性。

图 5. 有压力阶段的 Zeta 3D 光学仿形铣床和 2" 薄酥饼牛颈肉。

关于 Zeta 仪器

Zeta 仪器是精确度微结构和表面使绿色技术和生物医学的产品制造商充分地改进产量和质量管理的测量系统一位主导的提供者。 Zeta 提前的计量学解决方法提供直接利益给高亮光 LEDs，太阳能电池、微型流体力学/生物工艺学和磁存储器媒体的生产。给予专利的 Z-Dot™技术启用制造商对迅速和准确地进行 3D 这些应用微米缩放比例功能的评定，确定 Zeta 作为一个有战略意义的供应商对这些高效成长行业。

从 Zeta 仪器的计量学解决方法理想地说配合解决这些行业面对的评定挑战：