Da AZoM
Indice
Introduzione Caratterizzazione di Trattamento della Pila Solare Rapporto di Area Di Tessitura su Mono e Poli Silicio Misura di Spessore di Pellicola Modulo Conveniente di Ispezione della Barriera Rilevazione ed Ispezione Automatizzate della Barretta del Contatto Pacchetto Solare della Zeta Configurazione Circa gli Strumenti della Zeta Introduzione
La prestazione delle pile solari dipende da una serie di parametri quali spessore di pellicola, tessitura del substrato, formazione accurata della barretta del contatto e qualità della barriera del wafer. Il Sistema di Misura Automatizzato Zeta-200 3D offre l'analisi cromatica e la rappresentazione vere di superficie complicata in meno di 1 minuto per ogni sito. La tecnologia privata ed innovatrice di ZDot permette alla misura di quasi tutti i tipi di superfici da altamente liscio ad altamente ruvido.
Caratterizzazione di Trattamento della Pila Solare
Rapporto di Area Di Tessitura su Mono e Poli Silicio
Incisione delle strutture della piramide è fatta sulla superficie del wafer per migliorare l'assorbimento della luce della pila solare, come esposto nell'immagine della Zeta 3D qui sotto (Fig. 1). Le Piramidi nel campo visivo sono analizzate e contate con la sequenza che si ripete su parecchi siti attraverso il wafer.
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Figura 1. immagine della Zeta 3D delle strutture della piramide su una superficie del wafer e su un'analisi corrispondente.
Misura di Spessore di Pellicola
Lo spessore di Pellicola da 30 nanometro a µm 10 può essere risoluto facendo uso di uno spettrometro della luce bianca, anche su ruvido ed il silicio strutturato affiora (Fig. 2).
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Figura 2. Determinazione di spessore di pellicola facendo uso di uno spettrometro della luce bianca.
Modulo Conveniente di Ispezione della Barriera
Per rimuovere le aree conduttive dalla barriera del wafer, incisione o dai trattamenti di lucidatura è usata; possono tuttavia possono causare il danno. Un'immagine della Zeta 3D di una barriera del wafer è indicata sotto (Fig. 3). Parecchie sezioni trasversali della barriera del wafer che mostra la rugosità e la forma sono indicate alla destra.
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Figura 3. immagine della Zeta 3D di una barriera del wafer e di una caratterizzazione corrispondente.
Rilevazione ed Ispezione Automatizzate della Barretta del Contatto
L'automazione dell'analisi delle barrette del contatto del metallo facendo uso della rappresentazione alto-dinamica dell'intervallo è permessa a facendo uso del sistema Zeta-200.
Le funzionalità della rappresentazione alto-dinamica dell'intervallo sono elencate qui sotto:
- Il automatico-fuoco permette alla rilevazione della superficie del wafer.
- Il riconoscimento di forme permette alla determinazione del reticolo del metallo ed a sistemare lo stessi al centro di immagine.
- I parametri ricetta-definiti di scansione permettono al controllo dell'intervallo verticale e le guide regolano l'illuminazione per accomodare estremamente - le superfici basse della alto-riflettività e) nitruro-rivestita (della riflettività (metallo).
- Il software di analisi determina automaticamente l'altezza e la larghezza di varie sezioni trasversali.
- Le sequenze Facoltative ripetono la misura sui siti attraverso il wafer.
Pacchetto Solare della Zeta
Il Software della Zeta 3D esamina lo standard 2D o le immagini del wafer 3D per la caratterizzazione di superficie generale che includono quanto segue:
- Rugosità Di Superficie.
- Feature size, diametro, area e volume.
- Altezza di Punto.
- Prua del Wafer.
- Spessore di Pellicola.
- visualizzazione della superficie 3D nel colore vero.
- Statistiche.
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Figura 4. serie del sistema Zeta-200 (primo piano).
Configurazione
Parecchie configurazioni del sistema sono disponibili che includa quanto segue:
- Sistema manuale del caricamento Zeta-20 per R & S.
- Sistema Zeta-200 con una fase DI X-Y automatizzata.
- Dispositivo Facoltativo di misura della barriera.
- Misura Facoltativa di spessore di pellicola.
- Mandrini di Vuoto per i wafer delle dimensioni differenti.
- Fase Piezo-elettrica per risoluzione di altezza di 2 nanometro.
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Figura 5. serie del sistema Zeta-200.
Il software di analisi Su Misura della pila solare comprende le ricette produzione-pronte per permettere alla caratterizzazione di tessitura del substrato e per contattare l'ispezione della barretta.
Circa gli Strumenti della Zeta
Gli Strumenti della Zeta è un fornitore principale dei sistemi di misura della microstruttura e della superficie di precisione che permettono ai produttori della verde-tecnologia e dei prodotti biomedici di migliorare sostanzialmente i rendimenti ed il controllo di qualità. Le soluzioni della metrologia avanzate Zeta forniscono il vantaggio diretto alla produzione di alto-luminosità LED, delle pile solari, del micro-fluidics/della biotecnologia e delle memorie magnetiche. La tecnologia brevettata di Z-Dot™ permette ai produttori a rapidamente ed esattamente realizza la misura 3D delle funzionalità del micron-disgaggio di queste applicazioni, posizionanti la Zeta come fornitore strategico su queste industrie a crescita rapida.
Le soluzioni della Metrologia dagli Strumenti della Zeta sono adatte idealmente ad indirizzare le sfide di misura confrontate da queste industrie:
- LED.
- Biotecnologia.
- Solare.
- Archiviazione di dati.
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Questi informazioni sono state originarie, esaminate ed adattate dai materiali forniti dagli Strumenti della Zeta.
Per ulteriori informazioni su questa sorgente, visualizzi prego gli Strumenti della Zeta.