Door AZoM
Inhoudstafel
Inleiding De Karakterisering van het Proces van de Zonnecel De Verhouding van de Oppervlakte van de Textuur Op Mono en PolySilicium De Meting van de Dikte van de Film De Geschikte Module van de Inspectie van de Rand De de Geautomatiseerde Opsporing en Inspectie van de Vinger van het Contact Zeta ZonnePakket Configuratie Ongeveer Zeta Instrumenten Inleiding
De prestaties van zonnecellen hangen van een aantal parameters zoals filmdikte, substraattextuur, de de nauwkeurige vorming van de contactvinger en kwaliteit van de wafeltjerand af. Zeta-200 Automatiseerden 3D analyse van de de aanbiedingen ware kleur van het Systeem van de Meting en weergave van ingewikkelde oppervlakte in minder dan 1 min voor elke plaats. De merkgebonden en innovatieve technologie ZDot laat de meting van bijna allerlei oppervlakten van hoogst vlot aan hoogst ruw toe.
De Karakterisering van het Proces van de Zonnecel
De Verhouding van de Oppervlakte van de Textuur Op Mono en PolySilicium
De Ets van piramidestructuren wordt gedaan op de wafeltjeoppervlakte zonnecel lichtabsorptie verbeteren, zoals die in het Zeta 3D hieronder beeld wordt getoond (Fig. 1). De Piramides op het gebied van mening worden geanalyseerd en met de opeenvolging herhalend op verscheidene plaatsen over het wafeltje geteld.
.jpg)
.jpg)
Figuur 1. Zeta 3D beeld van piramidestructuren op een wafeltjeoppervlakte en een overeenkomstige analyse.
De Meting van de Dikte van de Film
De dikte van de Film van 30 NM aan 10 µm kan worden bepaald gebruikend een witte lichte spectrometer, zelfs op ruwe en geweven siliciumoppervlakten (Fig. 2).
.jpg)
Figuur 2. Bepaling van filmdikte die een witte lichte spectrometer gebruikt.
De Geschikte Module van de Inspectie van de Rand
om geleidende gebieden uit wafeltje te verwijderen worden de rand, ets of het oppoetsen de processen gebruikt; zij kunnen nochtans kunnen schade veroorzaken. Een Zeta 3D beeld van een wafeltjerand wordt hieronder getoond (Fig. 3). Verscheidene dwarsdoorsneden van de wafeltjerand die ruwheid en vorm toont worden getoond bij het recht.
.jpg)
.jpg)
.jpg)
Figuur 3. Zeta 3D beeld van een wafeltjerand en een overeenkomstige karakterisering.
De de Geautomatiseerde Opsporing en Inspectie van de Vinger van het Contact
De automatisering van de analyse van de vingers die van het metaalcontact hoog-dynamische waaierweergave gebruiken wordt toegelaten gebruikend systeem zeta-200.
De eigenschappen van hoog-dynamische waaierweergave zijn hieronder vermeld:
- De auto-nadruk laat opsporing van de wafeltjeoppervlakte toe.
- De patroonerkenning laat het bepalen van het metaalpatroon en het schikken van het zelfde op het beeldcentrum toe.
- De recept-bepaalde aftastenparameters laten controle van de verticale waaier toe en de hulp past de verlichting aan uiterst aan te passen - lage (nitride-met een laag bedekt) reflectievermogen en hoog-reflectievermogen (metaal) oppervlakten.
- De analysesoftware bepaalt automatisch de hoogte en de breedte van diverse dwarsdoorsneden.
- De Facultatieve opeenvolgingen herhalen de meting op plaatsen over het wafeltje.
Zeta ZonnePakket
Zeta onderzoekt 3D Software standaard 2D of 3D wafeltjebeelden voor algemene oppervlaktekarakterisering die het volgende omvatten:
- De ruwheid van de Oppervlakte.
- De grootte, de diameter, het gebied en het volume van de Eigenschap.
- De hoogte van de Stap.
- De boog van het Wafeltje.
- De Dikte van de Film.
- 3D oppervlaktevisualisatie in ware kleur.
- Statistieken.
.jpg)
Figuur 4. Zeta-200 systeemreeks (close-up).
Configuratie
Verscheidene configuraties van het systeem zijn beschikbaar die het volgende omvatten:
- Zeta-20 handladingssysteem voor O&O.
- Zeta-200 systeem met een geautomatiseerd X-Y stadium.
- De Facultatieve inrichting van de randmeting.
- De Facultatieve meting van de filmdikte.
- Vacuüm klemmen voor wafeltjes van verschillende grootte.
- Piezo stadium voor 2 NM- hoogteresolutie.
.jpg)
Figuur 5. Zeta-200 systeemreeks.
De Aangepaste software van de zonnecelanalyse bestaat uit productie-klaar recepten om de karakterisering van de substraattextuur en de inspectie van de contactvinger toe te laten.
Ongeveer Zeta Instrumenten
Zeta de Instrumenten is een belangrijke leverancier van van de precisiemicrostructuur en oppervlakte metingssystemen die fabrikanten van groen-technologie en biomedische producten toelaten om opbrengsten en kwaliteitsbeheersing wezenlijk te verbeteren. Leveren Zeta geavanceerde metrologieoplossingen direct voordeel aan de productie van hoog-helderheid LEDs, zonnecellen, micro-fluïdica/biotechnologie en magnetische opslagmiddelen op. De gepatenteerde technologie z-Dot™ laat fabrikanten aan toe en snel nauwkeurig uitvoert 3D meting van micron-schaal eigenschappen die van deze toepassingen, Zeta de plaatsen als strategische leverancier aan deze hoge groeiën-industrie.
De oplossingen van de Metrologie van Zeta Instrumenten zijn ideaal gezien geschikt die de metingsuitdagingen te richten door deze industrieën worden geconfronteerd:
- LEIDEN.
- Biotechnologie.
- Zonne.
- De opslag van Gegevens.
.jpg)
Deze informatie is afkomstig geweest, herzien en die van materialen door Zeta Instrumenten aangepast worden verstrekt.
Voor meer informatie over deze bron, te bezoeken gelieve Zeta Instrumenten.