Por AZoM
Índice
Introducción Examen de la Oblea de Silicio Examen del Borde Arqueamiento del Fulminante Altura del Paso De Progresión Tosquedad Superficial Examen del Cable del Diamante Pliegos De Condiciones Ópticos El Sistema Zeta-200 Sobre los Instrumentos de la Zeta Introducción
Es importante que los substratos de silicio para las aplicaciones de la célula solar cumplen requisitos técnicos exactos. Al agregar la textura superficial, se mejora la eficiencia de luz-acopio, pero para las superficies altamente texturizadas, la dispersión luminosa ocurre y la eficiencia se reduce importante. Se requieren los cables De Alta Calidad del diamante vieron los fulminantes y obtienen los productos finales de alta calidad.
El Sistema Automatizado Zeta-200 de la Metrología 3D permite el control de calidad de las propiedades críticas, que son:
- Tosquedad del Substrato en los pasos de progresión múltiples, de altamente áspero a alisar altamente.
- La Periodicidad y la altura de consideraron marcas.
- Rajaduras del Borde y otros defectos.
- Arqueamiento del Fulminante.
- La Altura y la densidad de las características del diamante conectado consideraron los cables.
Examen de la Oblea de Silicio
Los diversos tipos de examen de la oblea de silicio son:
- Examen del Borde.
- Arqueamiento del Fulminante.
- Altura del Paso De Progresión.
- Tosquedad Superficial.
Examen del Borde
El Cuadro 1 muestra a Zeta la imagen bidimensional del borde del fulminante. Las etiquetas de plástico de la Longitud son el µm 37 y 15 verticalmente y horizontalmente, respectivamente.
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Cuadro 1. 2.a imagen de la Zeta de un borde del fulminante.
Arqueamiento del Fulminante
El Cuadro 2 muestra la dimensión de una variable de 5 hacia adentro. fulminante basado en mediciones bidimensionales o tridimensionales en 25 sitios.
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Cuadro 2. Determinación de la dimensión de una variable de un 5" fulminante basado en las 2.as mediciones un 3D en 25 sitios.
Altura del Paso De Progresión
Zeta 2.a e imágenes 3D de un substrato entrante (la Fig. demostración de 3) consideró marcas. La distancia entre los cursores es el µm 1215, la diferencia de la altura entre los cursores es el µm 3,4 y la profundidad de una única ranura es el µm 2,3 a 3,0.
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Cuadro 3. Zeta 2.a (parte superior) e imágenes (inferiores) 3D de un substrato de la referencia.
Tosquedad Superficial
Los resultados obtenidos de análisis de la tosquedad superficial son que el Ra es 0,95 µm en total o 0,57 µm con la corrección de la ondulación (Fig. 4).
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Cuadro 4. Resultados del análisis de la tosquedad en el fulminante medido.
Examen del Cable del Diamante
El Cuadro 5 muestra imagen de la Zeta 3D de un nuevo cable del diamante y el análisis automatizado de las partículas del diamante. Cada diamante en el campo visual se mide para el área, el volumen y la altura.
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Cuadro 5. imagen de la Zeta 3D de un nuevo cable del diamante y análisis automatizado de las partículas del diamante.
Pliegos De Condiciones Ópticos
Los pliegos de condiciones ópticos del sistema de la Zeta 200 se muestran en el vector abajo:
Pliegos de condiciones Ópticos del Cuadro 1. del sistema Zeta-200.
| Pliegos De Condiciones Ópticos |
| 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
| Z res (μm) | 5,90 | 1,50 | 0,50 | 0,10 | 0,07 |
| N.A. | 0,15 | 0,30 | 0,45 | 0,80 | 0,90 |
| Res XY (μm) | 2,20 | 1,10 | 0,75 | 0,42 | 0,40 |
| FOV 1 (μm) | 1920x1440 | 960x720 | 480x360 | 192x144 | 96x72 |
| FOV 2 (μm) | 5029x3771 | 2514x1886 | 1257x943 | 503x377 | 251x189 |
| ≤ 1,5% (1σ/mean) de la Repetibilidad del ± 2,5% de la Exactitud |
El Sistema Zeta-200
El Sistema de Medición Automatizado 3D de la Zeta 200 activa la proyección de imagen del color verdadero de superficies complejas en menos de un minuto por sitio.
El Software de la Zeta 3D estudia las imágenes bidimensionales o tridimensionales para los parámetros siguientes:
- Altura del Paso De Progresión.
- Tosquedad Superficial.
- Talla de Característica, diámetro, área y volumen.
- análisis de la Multi-Superficie para las características transparentes.
- visualización de la superficie 3D.
- Estadísticas.
Las aplicaciones generales del Zeta-200 son:
- mediciones del Multi-Sitio con estadísticas.
- definiciones Receta-Basadas de la medición.
- Exportación Automatizada de los datos y de la imagen.
Las características del Zeta-200 incluyen el siguiente:
- fuente de luz blanca de la Alto-Brillantez LED.
- Escenario XY con viaje de 200 x 200 milímetros.
- viaje vertical total de 30 milímetros.
- Las configuraciones Múltiples del FOV están disponibles.
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Cuadro 6. serie del sistema Zeta-200.
El sistema incluye un procesador del Dúo de Intel Core2 con el disco del RAM 3GB, de 320 GB y el Monitor LCD con pantalla grande.
Sobre los Instrumentos de la Zeta
Los Instrumentos de la Zeta son proveedor de cabeza de los sistemas de medición de la microestructura y de la superficie de la precisión que permiten a fabricantes de verde-tecnología y de productos biomédicos mejorar substancialmente rendimientos y control de calidad. Las soluciones avance Zeta de la metrología proporcionan a la ventaja directa a la producción de la alto-brillantez LED, de células solares, de micro-fluídica/de biotecnología y de media de almacenamiento magnético. La tecnología patentada de Z-Dot™ activa fabricantes realiza a rápidamente y exactamente la medición 3D de las características de la micrón-escala de estas aplicaciones, colocando la Zeta como surtidor estratégico a estas industrias de crecimiento rápido.
Las soluciones de la Metrología de los Instrumentos de la Zeta se adaptan idealmente dirigir los retos de la medición enfrentados por estas industrias:
- LED.
- Biotecnología.
- Solar.
- Almacenamiento de Datos.
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Esta información ha sido originaria, revisada y adaptada de los materiales proporcionados por los Instrumentos de la Zeta.
Para más información sobre esta fuente, visite por favor los Instrumentos de la Zeta.