AZoM 著
目録
導入 シリコンの薄片の点検 端の点検 ウエファーの弓 ステップ高さ 表面荒さ ダイヤモンドワイヤー点検 光学指定 ゼータ200 システム ゼータの器械について 導入
太陽電池のアプリケーションのためのシリコン基板が精密な技術的要求事項を満たすことは重要です。 表面の質の追加で、ライト集まる効率は改善されますが、非常に織り目加工の表面のために、光散乱は発生し、効率はかなり減ります。 良質のダイヤモンドワイヤーは見、ウエファーを得ます良質の完成品を必要となります。
ゼータ200 によって自動化される 3D 度量衡学システムは次のとおりである重大な特性の品質管理を可能にします、:
- 非常に滑らかになるべき非常に荒いからの多重ステップの基板の荒さ。
- 周律そして高さはのマークを見ました。
- 端のひびおよび他の欠陥。
- ウエファーの弓。
- ダイヤモンド機能の高さそして密度はワイヤーを見ました。
シリコンの薄片の点検
さまざまなタイプのシリコンの薄片の点検は次のとおりです:
- 端の点検。
- ウエファーの弓。
- ステップ高さ。
- 表面荒さ。
端の点検
図 1 はゼータにウエファーの端の二次元の画像を示します。 長さのマーカーは 37 および縦そして水平に 15 µm、それぞれです。
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図 1. ゼータのウエファーの端の第 2 画像。
ウエファーの弓
図 2 は 5 の形を in に示します。 25 のサイトで二次元か三次元測定に基づくウエファー。
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5" の形の図 2. 決定 25 のサイトで第 2 3D 測定に基づくウエファー。
ステップ高さ
ゼータ第 2 および入力基板の 3D 画像 (図 3) ショーはマークを見ました。 カーソル間の間隔は 1215 の µm です、カーソル間の高さの相違は 3.4 µm であり、単一の溝の深さは 2.3 から 3.0 µm です。
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図 3. ゼータ第 2 (上) および参照の基板の 3D (最下の) 画像。
表面荒さ
表面荒さの分析から得られる結果はラジウムが合計の 0.95 の µm またはうねりの訂正 (図 4) の 0.57 の µm であることです。
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測定されたウエファーの荒さの分析の図 4. 結果。
ダイヤモンドワイヤー点検
図 5 は新しいダイヤモンドワイヤーのゼータ 3D の画像およびダイヤモンドの粒子の自動解析を示します。 視野の各ダイヤモンドは領域、ボリュームおよび高さのために測定されます。
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図 5. 新しいダイヤモンドワイヤーのゼータ 3D の画像およびダイヤモンドの粒子の自動解析。
光学指定
ゼータ 200 システムの光学指定は下記のように表で示されています:
ゼータ200 システムの表 1. の光学指定。
| 光学指定 |
| 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
| Z res (μm) | 5.90 | 1.50 | 0.50 | 0.10 | 0.07 |
| N.A. | 0.15 | 0.30 | 0.45 | 0.80 | 0.90 |
| X-Y res (μm) | 2.20 | 1.10 | 0.75 | 0.42 | 0.40 |
| FOV 1 (μm) | 1920x1440 | 960x720 | 480x360 | 192x144 | 96x72 |
| FOV 2 (μm) | 5029x3771 | 2514x1886 | 1257x943 | 503x377 | 251x189 |
| 正確さの ± 2.5% の反復性の≤ 1.5% (1σ/mean) |
ゼータ200 システム
ゼータ 200 の自動化された 3D 測定システムはサイトごとの 1 分以下の複雑な表面の TrueColor イメージ投射を可能にします。
ゼータ 3D のソフトウェアは次のパラメータのための二次元か三次元画像を調査します:
- ステップ高さ。
- 表面荒さ。
- 形状、直径、領域およびボリューム。
- 透過機能のための複数の表面の分析。
- 3D 表面の視覚化。
- 統計量。
ゼータ200 の汎用アプリケーションは次のとおりです:
- 統計量の複数のサイトの測定。
- 調理法ベースの測定定義。
- 自動化されたデータおよび画像のエクスポート。
ゼータ200 の機能は次を含んでいます:
- 高明るさ白い LED の光源。
- 200 x 200 の mm 旅行の X-Y 段階。
- 30 の mm の総縦旅行。
- 多重 FOV 構成は使用できます。
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図 6. ゼータ200 システムシリーズ。
システムは 3GB RAM、 320 GB のディスクおよびワイドスクリーン LCD のモニタが付いている Intel Core2 のデュオプロセッサを含んでいます。
ゼータの器械について
ゼータの器械は緑技術および生物医学的な製品の製造業者が大幅に収穫および品質管理を改善することを可能にする精密微細構造および表面の測定システムの一流の提供者です。 ゼータによって進められる度量衡学の解決は高明るさ LEDs、太陽電池、マイクロ流体素子工学/人間工学および磁気記憶装置媒体の生産に直接便益を提供します。 Z-Dot™の特許を取られた技術はすぐにに製造業者をそして正確に行いますこれらの高い成長工業に戦略的な製造者としてゼータを置くこれらのアプリケーションのミクロンスケール機能の 3D 測定を可能にします。
ゼータの器械からの度量衡学の解決は理想的にこれらの企業によって直面される測定の挑戦をアドレス指定するために適します:
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この情報はゼータの器械によって提供される材料から供給され、見直され、そして適応させて。
このソースのより多くの情報のために、ゼータの器械を訪問して下さい。