AZoM의
목차
소개 실리콘 박편 검사 가장자리 검사 웨이퍼 활 단계 고도 표면 거칠기 다이아몬드 철사 검사 광학적인 논고 Zeta 200 시스템 Zeta 계기에 관하여 소개
태양 전지 응용을 위한 실리콘 기판이 정확한 기술 필요 조건을 만족시키다 중요합니다. 지상 짜임새 추가에, 빛 모이는 효율성은 향상됩니다, 그러나 높게 짜임새 표면을 위해, 가벼운 뿌리는 것은 일어나고 효율성은 현저하게 감소됩니다. 고품질 다이아몬드 철사는 보고 웨이퍼를 장악합니다 고품질 완제품을 요구됩니다.
Zeta에 의하여 자동화된 3D 도량형학 시스템은 임계 성질의 품질 관리를 허용합니다:
- 높게 반반하게 할 것이다 높게 거친에서 다중 단계에 기질 소밀.
- 주기성 그리고 고도는의 표를 보았습니다.
- 가장자리 균열과 그밖 결점.
- 웨이퍼 활.
- 다이아몬드 특징의 고도 그리고 조밀도는 위에 철사를 보았습니다.
실리콘 박편 검사
실리콘 박편 검사의 각종 모형은:
- 가장자리 검사.
- 웨이퍼 활.
- 단계 고도.
- 표면 거칠기.
가장자리 검사
숫자 1은 Zeta에게 웨이퍼 가장자리의 2차원 심상을 보여줍니다. 길이 마커는 37와 수직으로 그리고 수평으로 15 µm, 각각입니다.
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숫자 1. Zeta 웨이퍼 가장자리의 제 2 심상.
웨이퍼 활
숫자 2는 5의 모양을 in 보여줍니다. 25의 사이트에 2차원 3차원 측정에 근거를 두는 웨이퍼.
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5"의 모양의 숫자 2. 결심 25의 사이트에 제 2 3D 측정에 근거를 두는 웨이퍼.
단계 고도
Zeta 제 2와 들어오는 기질의 3D 심상 (FIG. 3) 쇼는 표를 보았습니다. 커서 사이 거리는 1215년 µm입니다, 커서 사이 고도 다름은 3.4 µm이고 단 하나 강저의 깊이는 2.3에서 3.0 µm입니다.
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숫자 3. Zeta 제 2 (상단)와 참고 기질의 3D (밑바닥) 심상.
표면 거칠기
표면 거칠기 분석에서 장악된 결과는 Ra가 합계에 있는 0.95 µm 또는 waviness 개정 (FIG. 4)를 가진 0.57 µm이다 입니다.
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측정된 웨이퍼에 소밀 분석의 숫자 4. 결과.
다이아몬드 철사 검사
숫자 5는 새로운 다이아몬드 철사의 Zeta 3D 심상 및 다이아몬드 입자의 자동화한 분석을 보여줍니다. 시계에 있는 각 다이아몬드는 지역, 양 및 고도를 위해 측정됩니다.
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숫자 5. 새로운 다이아몬드 철사의 Zeta 3D 심상 및 다이아몬드 입자의 자동화된 분석.
광학적인 논고
Zeta 200 시스템의 광학적인 논고는 아래와 같이 테이블에서 보입니다:
Zeta 200 시스템의 도표 1. 광학적인 논고.
| 광학적인 논고 |
| 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
| Z res (μm) | 5.90 | 1.50 | 0.50 | 0.10 | 0.07 |
| N.A. | 0.15 | 0.30 | 0.45 | 0.80 | 0.90 |
| XY res (μm) | 2.20 | 1.10 | 0.75 | 0.42 | 0.40 |
| FOV 1 (μm) | 1920x1440 | 960x720 | 480x360 | 192x144 | 96x72 |
| FOV 2 (μm) | 5029x3771 | 2514x1886 | 1257x943 | 503x377 | 251x189 |
| 정확도 ± 2.5% 반복성 ≤ 1.5% (1σ/mean) |
Zeta 200 시스템
Zeta 200 자동화한 3D 측정 시스템은 사이트 당 1 분 미만에 있는 복잡한 표면의 트루 컬러 화상 진찰을 가능하게 합니다.
Zeta 3D 소프트웨어는 뒤에 오는 매개변수를 위한 2차원 3차원 심상을 공부합니다:
- 단계 고도.
- 표면 거칠기.
- 최소 배선 폭, 직경, 지역 및 양.
- 투명한 특징을 위한 다중 표면 분석.
- 3D 표면 구상.
- 통계.
Zeta 200의 일반적인 응용은:
- 통계를 가진 다중 사이트 측정.
- 조리법 기지를 둔 측정 정의.
- 자동화된 데이터와 심상 수출.
Zeta 200의 특징은 뒤에 오는 것 포함합니다:
- 높 광도 백색 LED 광원.
- 200 x 200 mm 여행을 가진 XY 단계.
- 30 mm 총 수직 여행.
- 다중 FOV 윤곽은 유효합니다.
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숫자 6. Zeta 200 시스템 시리즈.
시스템은 3GB 렘, 320 GB 디스크와 와이드 스크린 LCD 모니터를 가진 인텔 Core2 2중창 처리기를 포함합니다.
Zeta 계기에 관하여
Zeta 계기는 녹색 기술과 생물 의학 제품의 제조자를 상당히 수확량과 품질 관리를 향상하는 가능하게 하는 정밀도 미세와 표면 측정 시스템의 주요한 공급자입니다. Zeta에 의하여 진행된 도량형학 해결책은 높 광도 LEDs, 태양 전지, 마이크로 응용 유체 역학/생물공학 및 자석 저장 수단의 생산에 직접적인 이익을 제공합니다. Z-Dot™ 특허가 주어진 기술은 빨리에 제조자를 그리고 정확하게 실행합니다 이 고성장 산업에 전략적인 공급자로 Zeta를 두는 이 응용의 미크론 가늠자 특징의 3D 측정을 가능하게 합니다.
Zeta 계기에서 도량형학 해결책은 이상적으로 이 기업에 의해 대결된 측정 도전을 제시하는 적응됩니다:
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이 정보는 Zeta 계속 계기에 의해 제공된 물자에서 sourced, 검토해서 그리고 적응시켜 입니다.
이 근원에 추가 정보를 위해, Zeta 계기를 방문하십시오.