AZoM
Содержание
Введение Осмотр Вафли Кремния Осмотр Края Смычок Вафли Высота Шага Поверхностная Шершавость Осмотр Провода Диаманта Оптически Спецификации Система Zeta-200 О Аппаратурах Zeta Введение
Важно что субстраты кремния для применений фотоэлемента выполняют точные технические требования. На добавлять поверхностную текстуру, улучшена свет-собирая эффективность, но для сильно текстурированных поверхностей, светлый разбрасывать происходит и эффективность значительно уменьшена. Необходимы Высокомарочные проводы диаманта увидели вафли и получают высокомарочное законченное - продукты.
Автоматизированная Zeta-200 Система Метрологии 3D позволяет проверке качества критических свойств, которые являются следующими:
- Шершавость Субстрата на множественных шагах, от сильно грубой сильно, котор нужно приглаживать.
- Периодичность и высота увидели метки.
- Отказы Края и другие дефекты.
- Смычок Вафли.
- Высота и плотность характеристик диаманта дальше увидели проводы.
Осмотр Вафли Кремния
Различные типы осмотра вафли кремния являются следующими:
- Осмотр Края.
- Смычок Вафли.
- Высота Шага.
- Поверхностная шершавость.
Осмотр Края
На Диаграмму 1 показано Zeta плоское изображение края вафли. Отметки Длины µm 37 и 15 вертикально и горизонтально, соответственно.
.jpg)
Диаграмма 1. изображение Zeta 2D края вафли.
Смычок Вафли
На Диаграмму 2 показано форму 5 внутри. вафля основанная на плоских или трехмерных измерениях на 25 местах.
.jpg)
Диаграмма 2. Определение формы 5" вафля основанная на 2D измерениях 3D на 25 местах.
Высота Шага
Zeta 2D и изображения 3D входящего субстрата (FIG. выставка 3) увидело метки. Расстояние между стрелками µm 1215, разница в высоты между стрелками µm 3,4 и глубина одиночного паза µm 2,3 до 3,0.
.jpg)
Диаграмма 3. Zeta 2D (верхняя часть) и (нижние) изображения 3D субстрата справки.
Поверхностная Шершавость
Результаты полученные от анализа поверхностной шершавости что Ра 0,95 µm в итоге или 0,57 µm с коррекцией waviness (FIG. 4).
.jpg)
.jpg)
Диаграмма 4. Результаты анализа шершавости на измеренной вафле.
Осмотр Провода Диаманта
На Диаграмму 5 показано изображение Zeta 3D нового провода диаманта и автоматизированный анализ частиц диаманта. Каждый диамант в области видимости измерен для зоны, тома и высоты.
.jpg)
.jpg)
Диаграмма 5. изображение Zeta 3D нового провода диаманта и автоматизированный анализ частиц диаманта.
Оптически Спецификации
Оптически спецификации системы Zeta 200 показаны в таблице ниже:
Спецификации Таблицы 1. Оптически системы Zeta-200.
| Оптически Спецификации |
| 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
| Z res (μm) | 5,90 | 1,50 | 0,50 | 0,10 | 0,07 |
| N.A. | 0,15 | 0,30 | 0,45 | 0,80 | 0,90 |
| XY res (μm) | 2,20 | 1,10 | 0,75 | 0,42 | 0,40 |
| FOV 1 (μm) | 1920x1440 | 960x720 | 480x360 | 192x144 | 96x72 |
| FOV 2 (μm) | 5029x3771 | 2514x1886 | 1257x943 | 503x377 | 251x189 |
| ≤ 1,5% Повторимости ± 2,5% Точности (1σ/mean) |
Система Zeta-200
Система Измерения 3D Zeta 200 Автоматизированная включает воображение истинного цвета сложных поверхностей в меньш чем одной минуте в место.
ПО Zeta 3D изучает плоские или трехмерные изображения для следующих параметров:
- Высота Шага.
- Поверхностная шершавость.
- Размер Характеристики, диаметр, зона и том.
- анализ Multi-Поверхности для прозрачных характеристик.
- визуализирование поверхности 3D.
- Статистик.
Общие применения Zeta-200 являются следующими:
- измерения Multi-Места с статистик.
- Рецепт-Основанные определения измерения.
- Автоматизированный экспорт данных и изображения.
Характеристики Zeta-200 включают следующее:
- источник света СИД Высок-Яркости белый.
- XY этап с перемещением 200 x 200 mm.
- перемещение 30 mm полное вертикальное.
- Множественные конфигурации FOV доступны.
.jpg)
Диаграмма 6. серия системы Zeta-200.
Система включает обработчик Дуо Intel Core2 с диском RAM 3GB, 320 GB и широкоэкранным монитором LCD.
О Аппаратурах Zeta
Аппаратуры Zeta ведущий провайдер систем измерения микроструктуры и поверхности точности которые позволяют изготовления зелен-технологии и биомедицинских продуктов существенно улучшить выходы и проверку качества. Выдвинутые Zeta разрешения метрологии снабубегут сразу преимущество продукция СИД высок-яркости, фотоэлементов, микро--fluidics/биотехнологии и магнитных носителей записи. Запатентованная технология Z-Dot™ включает изготовления к быстро и точно выполняет измерение 3D характеристик микрон-маштаба этих применений, располагая Zeta как стратегический поставщик к этим быстрорастущим отраслям промышленности.
Разрешения Метрологии от Аппаратур Zeta идеально одеты адресовать возможности измерения ые этими индустриями:
- СИД.
- Биотехнология.
- Солнечно.
- Хранение данных.
.jpg)
Эта информация найденный, расмотрена и приспособлена от материалов обеспеченных Аппаратурами Zeta.
Для больше информации на этом источнике, пожалуйста посетите Аппаратуры Zeta.