.jpg)
Список Темы
Предпосылка
Тонк-Фильмы в Интегральных Схемаах
Microspectrophotometers для Тонкопленочного Измерения Толщины
Тонкопленочные Измерения Толщины на Субстратах Прозрачных и Obaque
Предпосылка
Технологии CRAIC миры водя проявитель Уф--видимых-NIR научных приборов ряда для микроанализа. Эти включают аппаратуры microspectrophotometer серии QDI Уф--видимые-NIR конструированные для того чтобы помочь вам non-destructively измерить оптически свойства микроскопических образцов. Микроскопы серии UVM CRAIC покрывают ряд UV, видимых и NIR и помогают вам проанализировать с далеко за разрешений субмикрона видимый ряд. Технологии CRAIC также имеют microspectrometer Raman серии CTR для анализа без разрушения микроскопических образцов. И не забудьте что CRAIC самолюбиво подпирает наши продукты microspectrometer и микроскопа с бесподобный техническим обслуживанием.
Тонк-Фильмы в Интегральных Схемаах
Самомоднейшие интегральные схемаы сделаны путем депозируя слои различных материалов на субстратах и цепи после этого вытравлять внутри те фильмы. Толщина фильмов должна быть точно контролируемым возпроизводимо изготовлением интегральные схемаы которые так много нашего быть в зависимости от жизней. Обыкновенно, фильмы только 10 нанометров толщиной и имеют размеры цепи в ряде субмикрона.
Microspectrophotometers для Тонкопленочного Измерения Толщины
Как таковой, microspectrophotometers, как те изготовленные Технологиями CRAIC, один из самых эффективных инструментов быстро, легко и надежно измеряют толщину фильма. Такие инструменты измерения толщины фильма конструированы плавно для того чтобы интегрировать microspectrophotometer с изощренными ПО и автоматизацией для того чтобы измерить толщину тонкого фильма пробуя зон которые могут быть более малы чем микрон поперек. Такие аппаратуры конструированы для того чтобы измерить толщину фильма много типов фильмов депозированных на много типов субстратов.
Тонкопленочные Измерения Толщины на Субстратах Прозрачных и Obaque
Измерения толщины Фильма можно сделать и на прозрачных и опаковых субстратах которые позволяет такие инструменты быть использованным для того чтобы контролировать толщины фильма на таких приборах как плоские экраны в дополнение к обломокам полупроводника и приборам MEMS.
.jpg)
Диаграмма 1 пример интегральной схемаы как увидено до конца microspectrophotometer Технологий CRAIC. Черный квадрат входная апертура сама спектрофотометра. Светлый проходить через ту апертуру измерен оперируя понятиями интенсивности против длины волны. По Мере Того Как одно обыкновенно видит с такими тонкими фильмами как масло на воде, результат интерференционная картина положения которой пиковые определены несколькими факторов… включая толщину фильма. Диаграмма 2 один такой пример.
.jpg)
Диаграмма 1. Интегральная Схемаа как увидено до конца microspectrophotometer Технологий CRAIC
Эти спектры 3 отражений 3 различных толщин фильма двуокиси кремния депозированного на субстрате кремния. Используя эти спектры, ПО QDI FilmPro™ после этого моделирует толщины каждого из слоев используя несколько изощренных алгоритмов. Результаты показывают что красный спектр имеет толщину 10,1 нанометров, синь толщина 30,0 нанометров и зеленый цвет измеренная толщина 50,0 нанометров. Этот такой же метод может быть использован для того чтобы измерить толщину фильма или передачей или отражением много типов материалов и субстратов. И должно к гибкости разрешений измерения толщины тонкого фильма Технологий CRAIC, пробовать зоны может заколебаться от над 100 микронов поперек к субмикрону.
.jpg)
Диаграмма 2. Спектры Отражения 3 Различных Толщин Депозированного Фильма Двуокиси Кремния на Субстрате Кремния
Источник: Технологии CRAIC.
Для больше информации на этом источнике пожалуйста посетите Технологии CRAIC