DiamoTek 700 系列提供与高效率和控制的微波金刚石 CVD 系统 incorporatr 可合调的谐振腔技术被证明的金刚石证言能力。
主要特点
- 精确等离子体控制
- 高效率的能量联结
- 灵活的处理选择
- Provent 按比例提高表现
- 一致的证言 & 高速率
- 充分地集成系统
- 工艺过程开发服务
- 适合的洁净室
R&D 和生产的集成系统
- 计算机控制与描出自动的周期和联合微波，气体处理 & 真空模块
- 洞调整 & 基体遥远的职位控制
- 从 1.2 kW 供给选择动力到 10kW 2.45 GHz
- 从 20 的过程参数到 00 乇
- 完成处理气体的范围