El FilmTek™ 2000SE es un ellipsometer espectroscópico del alto rendimiento para la caracterización de la película fina esas dimensiones del ULTRAVIOLETA profundo a NIR (190-1700nm). De Acuerdo con un diseño giratorio del compensador, el ellipsometer espectroscópico de FilmTek™ 2000SE combina ellipsometry espectroscópico con reflectometría múltiple del ángulo para hacerla adecuada idealmente para medir el espesor y los constantes ópticos (n y k) de películas muy finas. El ellipsometer espectroscópico de FilmTek™ 3000SE agrega capacidad de la medición de la transmisión además de la reflectometría ellipsometry y de DUV espectroscópica. El ellipsometer espectroscópico de FilmTek™ 2000SE utiliza el software de modelado material de SCI para proporcionar a una herramienta asequible y segura de la medición de la película fina para la medición simultánea del espesor del film, índice de refracción, y el coeficiente de extinción.
- Reflexión Espectroscópica (190nm-1700nm) de la luz polarizada a los ángulos múltiples
- Ellipsometry Espectroscópico con el diseño giratorio del compensador (300nm-1700nm)
- Espesor del film de las Dimensiones y índice de refracción independientemente
- Tecnología Diferenciada de la Polarimetría (MADP) del Multi-Ángulo con la tecnología Espectral patentada de la Densidad de la Potencia Diferenciada (DPSD) de SCI
- Ideal para medir las películas ultrafinas (0,03 repetibilidades de Å en el óxido nativo)
- Ellipsometry generalizada Opcional (método de la generalización de la matriz 4x4) para las mediciones de la anisotropía (nx, ny, nz)
- Ideal para las películas finas avanzadas de medición
Características Espectroscópicas de FilmTek™ 2000SE Ellipsometer
- Versátil: El ellipsometer espectroscópico de FilmTek™ 2000SE incorpora el modelo material generalizado de SCI con los algoritmos de optimización global avanzados para la determinación simultánea de:
- Espesores Múltiples de la capa
- Índice de refracción [n (l)]
- Coeficientes de la Extinción (amortiguación) [k (l)]
- Separación de banda de Energía [Eg. ]
- Fracción Constitutiva y nula
- Gradiente de la Película
- Bajo Costo: El costo de la propiedad del ellipsometer espectroscópico de FilmTek™ 2000SE es muy competitivo con los instrumentos comparables.
- Ningún Conocimiento Especial Requerido: Se diseña el software espectroscópico del ellipsometer de FilmTek™ 2000SE de modo que mínimo experimente en los ordenadores personales, diseño óptico de la película fina, o las técnicas se requiera de medición.
- Termine el Sistema dominante del “giro”: Un sistema de medición espectroscópico completo integrado del ellipsometer con la calibración, la adquisición, y el software de análisis.
- Sin Contacto y no destructivo.
- Flexible: El soporte físico y el software espectroscópicos del ellipsometer de FilmTek™ se pueden modificar fácilmente para satisfacer requisitos de cliente únicos.
- Características Opcionales:
- escenario automatizado controlado por ordenador.
- Magazín a la manipulación del fulminante del magazín
- Pequeña talla de mancha (50 micrones)
- Reconocimiento de patrones (Cognex)
Aplicaciones Espectroscópicas de FilmTek™ 2000SE Ellipsometer
Virtualmente todas las películas translúcidas que colocan en espesor a partir de 1 angstrom a aproximadamente 150 micrones se pueden medir con la alta precisión usando el ellipsometer espectroscópico de FilmTek™ 2000SE. Las aplicaciones espectroscópicas Típicas del ellipsometer de FilmTek™ 2000SE incluyen:
- Semiconductor y materiales dieléctricos
- Discos del Ordenador
- Capa óptica De Múltiples Capas
- Cristal Revestido
- Capa de antireflejos Óptica
- Metales Finos
- Materiales Electrópticos
- Células Solares