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分光鏡 Ellipsometer - FilmTek™ 2000SE

FilmTek™ 2000SE 是薄膜描述特性的一高性能分光鏡 ellipsometer 從深紫外的該評定到 NIR (190-1700nm)。 憑一個轉動的補償器設計, FilmTek™ 2000SE 分光鏡 ellipsometer 結合分光鏡 ellipsometry 以多個角度反射計做於評定厚度和光學常數理想地說適合的它 (n & k) 非常薄膜。 除分光鏡 ellipsometry 和 DUV 反射計之外, FilmTek™ 3000SE 分光鏡 ellipsometer 添加傳輸評定功能。 FilmTek™ 2000SE 分光鏡 ellipsometer 使用 SCI 的物質塑造的軟件提供為膠片厚度的同時評定,折射率和消光系數的一個價格合理和可靠的薄膜評定工具。
  • 分光鏡反映 (190nm-1700nm) 偏光在多個角度
  • 分光鏡 ellipsometry 與轉動的補償器設計 (300nm-1700nm)
  • 評定膠片厚度和折射率獨立地
  • 與 SCI 的給予專利的 (MADP)有差別的功率光譜密度技術的多角度有差別的測極化 (DPSD)技術
  • 評定的超薄的影片 (在當地氧化物的 0.03 Å 反覆性理想)
  • 選項概括的 ellipsometry (4x4 矩陣概念化方法) 各向異性現象評定的 (nx, ny, nz)
  • 評定的先進的薄膜的理想

FilmTek™ 2000SE 分光鏡 Ellipsometer 功能

  • 多才多藝: FilmTek™ 2000SE 分光鏡 ellipsometer 合併與先進的全球優化算法的 SCI 的概括的物質設計同時確定的:
    • 多個層厚度
    • 折射率 [n (l)]
    • 绝種 (吸收) 系數 [k (l)]
    • 能帶空白 [即]
    • 構成和無效分數
    • 影片梯度
  • 低成本: FilmTek™ 2000SE 分光鏡 ellipsometer 所有權的費用是非常競爭的與可比較的儀器。
  • 沒有要求的特殊知識: FilmTek™ 2000SE 分光鏡 ellipsometer 軟件被設計,以便需要在個人計算機、薄膜光學設計或者計量技術的最小的經驗。
  • 完全 「輪關鍵」系統: 與定標、購買和分析軟件的一個充分地集成分光鏡 ellipsometer 測量系統。
  • 沒有接觸和非破壞性。
  • 靈活: 可以容易地修改 FilmTek™分光鏡 ellipsometer 硬件和軟件滿足唯一用戶要求。
  • 可選功能:
    • 計算機控制的自動化的階段。
    • 對卡式磁帶薄酥餅處理的卡式磁帶
    • 小的光點直徑 (50 微米)
    • 模式識別 (Cognex)

FilmTek™ 2000SE 分光鏡 Ellipsometer 應用

使用 FilmTek™ 2000SE 分光鏡 ellipsometer,實際上排列在厚度的所有透亮影片從 1 埃到大約 150 微米可以評定與高精度。 典型的 FilmTek™ 2000SE 分光鏡 ellipsometer 應用包括:

  • 半導體和電介質材料
  • 計算機盤
  • 多層光學塗層
  • 上漆的玻璃
  • 光學抗反射膜
  • 稀薄的金屬
  • 電子光學的材料
  • 太陽能電池

Last Update: 3. February 2012 18:01

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